[發明專利]可消除靜電的基板載具

無效

• 申請號: 200610080368.9
• 申請日: 2006-05-11
• 公開（公告）號: CN101071785A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發明（設計）人: 劉懿承;王信雄;黃銘崗
• 申請（專利權）人: 中華映管股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H05F3/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陶鳳波;侯宇

技術領域

本發明涉及一種承載基板的載具，特別是涉及一種可消除靜電的基板載具。

背景技術

在半導體工藝之中，每一片基板(或晶片)都會經過數道不同的工藝，以制作出各式各樣的電子產品。舉例來說，以液晶顯示器(liquid?crystal?display，LCD)的制作而言，玻璃基板亦需要經過曝光、顯影、沉積等等繁雜的流程，而這些繁雜的工藝步驟必須仰賴不同的機器完成之，因此，玻璃基板在制作的過程中，必須依據所進行的工藝，移動到不同的機器來進行不同的工藝步驟。

然而，玻璃基板放在無塵室中會產生帶電不良的情形，尤其在傳送的過程中，不論玻璃基板是放置于卡匣(cassette)中、移動的運送裝置上(譬如真空機械人)，或是正在作業的機器中，玻璃基板皆會與周遭的環境產生摩擦，而產生靜電放電(electrostatic?discharge，ESD)效應。

在某些特定的機器，譬如ULVAC?PVD機器，是先利用真空機械人手臂將玻璃基板傳送至濺射室(sputter?chamber)，之后再進行物理氣相沉積，并于玻璃基板表面生成半導體以及保護層的薄膜。

請參閱圖1，圖1為現有機械人手臂(robot?forklift)100的示意圖。如圖1所示，機械人手臂100包括支撐模塊110、120，以及一連接模塊130。連接模塊130與機械人的本體連接，而支撐模塊110、120與連接模塊130相互連接，以通過支撐模塊110、120與連接模塊130之間的連接力，來提供支撐模塊110、120一支撐力。因此，支撐模塊110、120便可以用來承載玻璃基板150，以將玻璃基板150運送至不同的機器。

此外，一般來說，支撐模塊110、120上亦設置有多個接觸墊140。當支撐模塊110、120運送玻璃基板150時，這些接觸墊140會提供玻璃基板150多個接觸面，以通過這些接觸面，提供玻璃基板150承載時所需的支撐力，并且同時提供一摩擦力，以防止玻璃基板150與接觸墊140之間發生?滑動。

然而，由于這些接觸墊140會與玻璃基板1?50相互摩擦，因此玻璃基板150與接觸墊140之間會開始累積靜電電荷，當電荷累積到一定程度后，接觸墊140與玻璃基板150之間便會發生前述的靜電效應，因此，圖1所示的區域160、170便會產生前述的靜電效應。由于靜電效應會改變區域160、170周遭的電場，如此便會使得玻璃基板150進行各項工藝時，因電場的不穩定而產生不必要的工藝誤差。

發明內容

有鑒于此，本發明的主要目的之一在于提供一種可消除靜電的基板載具，以解決現有技術中的問題。

本發明揭露一種用來承載一基板的載具，該載具包括：一支撐模塊以及一導電媒介。其中，該支撐模塊具有至少一接觸區域與該基板接觸，以提供該基板一支撐力以承載該基板，因此上述的靜電放電效應可能發生于該接觸區域，一導電媒介電連接至該接觸區域與一電壓準位，以消除該接觸區域與該基板之間的靜電。

本發明另揭露一種使用一載具來承載一基板的方法，其包括：使用該載具的一支撐模塊上的至少一接觸區域與該基板接觸，以提供該基板一支撐力來承載該基板；以及將該接觸區域電連接至一電壓準位，以經由該電壓準位消除該接觸區域與該基板之間的靜電。

本發明的機械人手臂具有導電媒介，以消除接觸墊與玻璃基板之間所產生的靜電，因此，原本工藝時所受到靜電干擾的情況便可大幅改善，也因此可以提升液晶顯示器的成品率。

附圖說明

圖1為現有機械人手臂(robot?forklift)的示意圖。

圖2為本發明機械人手臂(robot?forklift)的示意圖。

圖3為圖2所示的導電媒介的一實施例的示意圖。

?簡單符號說明

110、120、210、220支撐模塊??????140、240??接觸墊

150、250??????????玻璃基板??????130、230??連接模塊

160、170、260、270區域????100、200機械人手臂

280???????????????導電媒介

具體實施方式