[發(fā)明專利]可消除靜電的基板載具

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200610080368.9
• 申請日: 2006-05-11
• 公開（公告）號: CN101071785A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉懿承;王信雄;黃銘崗
• 申請（專利權(quán)）人: 中華映管股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H05F3/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 陶鳳波;侯宇

1.一種用來承載基板的載具，其包括：

支撐模塊，其具有至少一接觸區(qū)域與該基板接觸，用來提供該基板支撐力以承載該基板；以及

導(dǎo)電媒介，電連接至該接觸區(qū)域與電壓準(zhǔn)位，以經(jīng)由該電壓準(zhǔn)位消除該接觸區(qū)域與該基板之間的靜電。

2.如權(quán)利要求1所述的載具，其中該支撐模塊包括多個接觸墊，每一接觸墊提供一接觸區(qū)域來與該基板接觸。

3.如權(quán)利要求2所述的載具，其中該多個接觸墊以微導(dǎo)電材料制作而成。

4.如權(quán)利要求1所述的載具，其中該導(dǎo)電媒介包含金屬薄膜，連接于該接觸區(qū)域。

5.如權(quán)利要求4所述的載具，其中該金屬薄膜為銅箔。

6.如權(quán)利要求5所述的載具，其中該銅箔平貼于該支撐模塊上。

7.如權(quán)利要求6所述的載具，其中該銅箔與該支撐模塊利用背膠相互黏接。

8.如權(quán)利要求7所述的載具，其中該背膠為耐高溫背膠。

9.如權(quán)利要求1所述的載具，其中該基板為玻璃基板。

10.如權(quán)利要求1所述的載具，其中該電壓準(zhǔn)位為接地電位。