[發(fā)明專(zhuān)利]采用MEMS技術(shù)制作的半導(dǎo)體器件無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610074716.1 | 申請(qǐng)日： | 2006-04-11 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1848342A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-10-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 池橋民雄 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 株式會(huì)社東芝 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01H57/00 | 分類(lèi)號(hào)： | H01H57/00;H01H59/00;H01P1/10 |
| 代理公司： | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人： | 王永剛 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 采用 mems 技術(shù) 制作 半導(dǎo)體器件 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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