[發明專利]采用MEMS技術制作的半導體器件無效
| 申請號： | 200610074716.1 | 申請日： | 2006-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN1848342A | 公開（公告）日： | 2006-10-18 |
| 發明（設計）人： | 池橋民雄 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | H01H57/00 | 分類號： | H01H57/00;H01H59/00;H01P1/10 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王永剛 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 采用 mems 技術 制作 半導體器件 | ||
【權利要求書】：
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