[發(fā)明專利]基板的處理裝置及處理方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610074624.3 | 申請日： | 2006-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN1853799A | 公開（公告）日： | 2006-11-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 今岡裕一;磯明典 | 申請（專利權(quán)）人： | 芝浦機械電子株式會社 |
| 主分類號： | B05C5/02 | 分類號： | B05C5/02;B05C11/10;B05B13/04;B05B1/14;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 陳英俊 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 處理 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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