[發明專利]基板的處理裝置及處理方法有效
| 申請號： | 200610074624.3 | 申請日： | 2006-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN1853799A | 公開（公告）日： | 2006-11-01 |
| 發明（設計）人： | 今岡裕一;磯明典 | 申請（專利權）人： | 芝浦機械電子株式會社 |
| 主分類號： | B05C5/02 | 分類號： | B05C5/02;B05C11/10;B05B13/04;B05B1/14;H01L21/027 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 陳英俊 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于芝浦機械電子株式會社，未經芝浦機械電子株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610074624.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
