[發明專利]過程氣體泄漏源檢測系統與方法

有效

• 申請號: 200610074008.8
• 申請日: 2006-04-05
• 公開（公告）號: CN101050989A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發明（設計）人: 呂建豪;顏紹儀;施惠雅;游生任
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: G01M3/02
• 分類號: G01M3/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 王志森;黃小臨

技術領域

本發明有關于一種檢測系統與方法，且特別有關于一種過程氣體泄漏源檢測系統與方法。

背景技術

光電及半導體產業所使用的化學物質種類甚多，且部分深具危險性和有害性，但卻可能因意外而發生氣體泄漏，進而對晶片制造生產與從業人員健康造成傷害。為了避免危害性氣體泄漏對晶片制造所產生的傷害，光電及半導體廠皆大量使用氣體監測器。目前常用的氣體傳感器，可分為觸媒燃燒型氣體傳感器、半導體吸附型氣體傳感器、場效晶體管型氣體傳感器、電化學式氣體傳感器等等。

然而，使用大量的氣體傳感器固然可以監控氣體泄漏的發生，但偶爾卻會產生誤警(False?Alarm)事件，亦即某些氣體泄漏情況雖在可控制范圍內，但氣體傳感器仍會發出警示，此誤警事件也造成了許多非必要性的生產損失。因此，如何能夠準確檢測這些危害性的過程氣體與尾氣泄漏事件并掌握泄漏的來源，以避免非必要的監測器誤警損失，便成了現代晶片廠的一個重要課題。

發明內容

基于所述目的，本發明實施例公開了一種過程氣體泄漏源檢測系統，其包括一數據服務器、一開放路徑式FTIR(傅立葉轉換紅外光譜儀)檢測系統、一多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統、一IR(紅外光譜儀)監測系統、一過程尾氣管理系統以及一數據庫管理與氣體濃度查詢系統。該開放路徑式FTIR檢測系統設置于該廠半導體制造廠的回風處，用以檢測泄漏氣體，并且通過一通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。該多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統設置于該廠半導體制造廠內，用以利用設置于該廠半導體制造廠內的不同區域的管線收集并檢測泄漏氣體，并且通過該通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。該IR監測系統通過該通信網絡自該數據服務器取得該氣體成份信息。該過程尾氣管理系統通過該通信網絡自該IR監測系統取得該氣體成份信息以進行可能泄漏來源的分析處理與判斷。

本發明實施例更公開了一種過程氣體泄漏源檢測方法。提供一開放路徑式FTIR檢測系統、一多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統、一IR監測系統、一過程尾氣管理系統、一數據庫管理與氣體濃度查詢系統以及一數據服務器，其中該開放路徑式FTIR檢測系統設置于該廠半導體制造廠的回風處。利用該開放路徑式FTIR檢測系統并通過一通信網絡，將檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。利用該多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統并通過該通信網絡，將利用設置于該廠半導體制造廠內的不同區域的管線檢測所得的氣體成份信息傳送至該數據服務器。利用該IR監測系統并通過該通信網絡自該數據服務器取得該氣體成份信息。利用該過程尾氣管理系統并通過該通信網絡自該IR監測系統取得該氣體成份信息以進行可能泄漏來源的分析處理與判斷，以及利用一數據庫管理與氣體濃度查詢系統并通過該通信網絡，查詢該數據服務器中的該氣體成份信息。

附圖說明

圖1表示本發明實施例的光學式氣體泄漏源檢測系統的結構示意圖。

圖2表示本發明實施例的過程氣體泄漏源檢測方法的步驟流程圖。

符號說明

100～氣體泄漏源檢測系統

110～開放路徑式FTIR檢測系統

120～多采樣孔與抽氣式FTIR檢測系統

130～IR監測系統

140～網絡服務器

150～過程尾氣管理系統

160～數據庫管理與氣體濃度查詢系統

170～數據服務器

180～通信網絡

具體實施方式

為了讓本發明的目的、特征、及優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合附圖圖1至圖2，進行詳細的說明。本發明說明書提供不同的實施例來說明本發明不同實施方式的技術特征。其中，實施例中的各組件的配置為說明之用，并非用以限制本發明。且實施例中附圖標號的部分重復，為了簡化說明，并非意指不同實施例之間的關聯性。

本發明實施例公開了一種過程氣體泄漏源檢測系統與方法。通過本發明實施例的氣體檢測方法所開發的電子化過程排氣管理系統，結合傅立葉轉換紅外光譜儀(Fourier?Transform?Infrared?Spectrometer，以下簡稱為FTIR)與空氣品質監測及警示系統，可迅速檢測氣體泄露來源并排除異常狀況。

圖1表示本發明實施例的光學式氣體泄漏源檢測系統的結構示意圖。