[發明專利]過程氣體泄漏源檢測系統與方法

有效

• 申請號: 200610074008.8
• 申請日: 2006-04-05
• 公開（公告）號: CN101050989A
• 公開（公告）日: 2007-10-10
• 發明（設計）人: 呂建豪;顏紹儀;施惠雅;游生任
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: G01M3/02
• 分類號: G01M3/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 王志森;黃小臨

1.一種過程氣體泄漏源檢測系統，其適用于一制造廠的過程控制，包括：

一數據服務器；

一開放路徑式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統，其設置于所述制造廠的回風處，用以檢測泄漏氣體，并且通過一通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至所述數據服務器；

一多采樣孔與抽氣式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統，其設置于所述制造廠內，用以利用設置于所述制造廠內的不同區域的管線收集并檢測泄漏氣體，并且通過所述通信網絡將檢測所得的氣體成份信息傳送至所述數據服務器；

一紅外光譜儀監測系統，用以通過所述通信網絡自所述數據服務器取得所述氣體成份信息；以及

一過程尾氣管理系統，用以通過所述通信網絡自所述紅外光譜儀監測系統取得所述氣體成份信息以進行泄漏來源的分析處理與判斷。

2.如權利要求1所述的過程氣體泄漏源檢測系統，其還包括一數據庫管理與氣體濃度查詢系統，用以查詢所述數據服務器中的所述氣體成份信息。

3.如權利要求1所述的過程氣體泄漏源檢測系統，其中，當所述紅外光譜儀監測系統檢測到氣體濃度超過一閾值時即發出警報，并且自動啟動所述過程尾氣管理系統。

4.如權利要求1所述的過程氣體泄漏源檢測系統，其中，每當所述數據服務器取得檢測所得的氣體成份信息時，所述紅外光譜儀監測系統即進行實時更新。

5.如權利要求1所述的過程氣體泄漏源檢測系統，其中，所述多采樣孔與抽氣式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統經由其中一管線取得所述管線所在區域的氣體成份信息并進行分析處理。

6.一種過程氣體泄漏源檢測方法，其適用于一制造廠的過程控制，包括下列步驟：

提供一開放路徑式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統、一多采樣孔與抽氣式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統、一紅外光譜儀監測系統、一過程尾氣管理系統、一數據庫管理與氣體濃度查詢系統以及一數據服務器，其中所述開放路徑式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統設置于所述制造廠的回風處；

利用所述開放路徑式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統并通過一通信網絡，將檢測所得的氣體成份信息傳送至所述數據服務器；

利用所述多采樣孔與抽氣式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統并通過所述通信網絡，將利用設置于所述制造廠內的不同區域的管線檢測所得的氣體成份信息傳送至所述數據服務器；

利用所述紅外光譜儀監測系統并通過所述通信網絡自所述數據服務器取得所述氣體成份信息；以及

利用所述過程尾氣管理系統并通過所述通信網絡自所述紅外光譜儀監測系統取得所述氣體成份信息以進行泄漏來源的分析處理與判斷。

7.如權利要求6所述的過程氣體泄漏源檢測方法，其還包括利用一數據庫管理與氣體濃度查詢系統并通過所述通信網絡，查詢所述數據服務器中的所述氣體成份信息。

8.如權利要求6所述的過程氣體泄漏源檢測方法，其還包括當所述紅外光譜儀監測系統檢測到氣體濃度超過一閾值時即發出警報，并且自動啟動所述過程尾氣管理系統。

9.如權利要求6所述的過程氣體泄漏源檢測方法，其還包括每當所述數據服務器取得檢測所得的氣體成份信息時，所述紅外光譜儀監測系統即進行實時更新。

10.如權利要求6所述的過程氣體泄漏源檢測方法，其還包括利用所述多采樣孔與抽氣式傅立葉轉換紅外光譜儀檢測系統，并經由其中一管線取得所述管線所在區域的氣體成份信息并進行分析處理。