[發(fā)明專(zhuān)利]濺射裝置及濺射成膜方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610059588.3 | 申請(qǐng)日： | 2002-02-06 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1821438A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-08-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 志堂寺榮治;安藤英一;山田朋廣;真下尚洋 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 旭硝子株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C14/35 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 張政權(quán) |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 濺射 裝置 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
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