[發明專利]三維半導體納米結構陣列及其制備方法無效
| 申請號： | 200610035748.0 | 申請日： | 2006-06-01 |
| 公開（公告）號： | CN1872659A | 公開（公告）日： | 2006-12-06 |
| 發明（設計）人： | 任山;吳起白;賴燦雄;龔曉丹;許寧生;陳軍 | 申請（專利權）人： | 中山大學 |
| 主分類號： | B82B1/00 | 分類號： | B82B1/00;B82B3/00;H01L21/30;H01L29/02;H01L29/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 廣州市華學知識產權代理有限公司 | 代理人： | 陳燕嫻 |
| 地址： | 510275廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 三維 半導體 納米 結構 陣列 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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