[發(fā)明專(zhuān)利]三維半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)陣列及其制備方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610035748.0 | 申請(qǐng)日： | 2006-06-01 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1872659A | 公開(kāi)（公告）日： | 2006-12-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 任山;吳起白;賴(lài)燦雄;龔曉丹;許寧生;陳軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中山大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B82B1/00 | 分類(lèi)號(hào)： | B82B1/00;B82B3/00;H01L21/30;H01L29/02;H01L29/06;H01L21/00 |
| 代理公司： | 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 陳燕嫻 |
| 地址： | 510275廣東*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 三維 半導(dǎo)體 納米 結(jié)構(gòu) 陣列 及其 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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