[發(fā)明專利]中電流注入設(shè)備與標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口的通訊和控制方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200610029996.4
• 申請(qǐng)日: 2006-08-11
• 公開（公告）號(hào): CN101123199A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛紅強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 顧繼光

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種自動(dòng)搬送硅片盒的方法，尤其涉及一種中電流注入設(shè)備與標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口的通訊和控制方法。

背景技術(shù)

由于申請(qǐng)人原有的中電流注入設(shè)備(NISSIN?EXCEED系列)都是OPEN?CASSETTE結(jié)構(gòu)(是指一種開放式的硅片盒放置方法，由于硅片所處的環(huán)境都是高凈化度的，所以不需要密封盒在不同設(shè)備間進(jìn)行搬送)，隨著凈化環(huán)境的變化，部分設(shè)備必須加裝標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口(英文簡(jiǎn)稱為“SMIF”，是指一種將裝在密封箱里的硅片盒傳送到設(shè)備，或把設(shè)備上的硅片盒搬回到密封箱里的自動(dòng)搬送裝置；它能保證硅片始終保持在高凈化度的環(huán)境中)，通過其實(shí)現(xiàn)硅片盒的自動(dòng)搬送。

現(xiàn)有的設(shè)備與標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口的信號(hào)連接方法請(qǐng)參閱圖1所示，基本特征如下：

1.標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口25與設(shè)備20間通過2條連接電纜，分別將標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口25的并行輸入輸出接口(PARALLEL?I/O)27和ASCII碼串行接口(ASCII?SERIAL?PORT)26與搬送部控制器(ENDSTATIONCONTROLLER)21的輸入輸出接口23連接。

2.條形碼讀取器(BARCODE?READER)29安裝在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口25側(cè)，其與MAN?MACHINE?INTERFACE(人機(jī)接口，又可稱為設(shè)備主操控器)22的串行接口24相連，在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口POD(指保存硅片盒的密封箱)32的外側(cè)隔著透明罩讀取硅片盒上的條形碼(BARCODE)，然后直接將硅片盒31的信息傳送給人機(jī)接口22。

3.也可以使用裝在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口25上的SMART?TAG?READER(智能卡讀卡器)30讀出LOT(指某一硅片盒的硅片批號(hào))信息后通過SECS?HOST?SERIAL?PORT(使用半導(dǎo)體設(shè)備通信標(biāo)準(zhǔn)的串行接口)28傳送給設(shè)備的人機(jī)接口22。

4.裝載硅片盒31的過程通過操作人機(jī)接口22進(jìn)行。

基本ONLINE作業(yè)(在線作業(yè)，是指在工廠的生產(chǎn)管理系統(tǒng)控制下進(jìn)行作業(yè))過程如下：

1.當(dāng)裝有硅片盒31的密封箱32放在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口25上后，人機(jī)接口22會(huì)對(duì)智能讀卡器30或條形碼讀取器29發(fā)出讀取指令，智能讀卡器30或條形碼讀取器29讀取LOT信息后再將該LOT的信息傳送給人機(jī)接口22。

2.人機(jī)接口22將LOT的信息傳給ONLINE?HOST(指工廠用于生產(chǎn)管理的系統(tǒng)主機(jī))獲得作業(yè)條件和作業(yè)指令后，通過搬送部控制器21要求標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口25將硅片盒31裝載到中電流注入設(shè)備20的STAGE(指中電流注入設(shè)備上放置硅片盒的承載臺(tái))上。

3.硅片盒31完全放在設(shè)備的STAGE上后，中電流注入設(shè)備20就開始按要求開始作業(yè)。

中電流注入設(shè)備20作業(yè)完后，人機(jī)接口22通過搬送部控制器21要求標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口25將中電流注入設(shè)備20上的硅片盒31放回密封箱32內(nèi)。同時(shí)向ONLINE?HOST傳送作業(yè)數(shù)據(jù)和作業(yè)終了報(bào)告。

由于華虹NEC的ONLINE作業(yè)系統(tǒng)有其特殊性，如果采用現(xiàn)有的方法安裝標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口就會(huì)產(chǎn)生以下問題。

1.對(duì)于NISSIN?EXCEED系列中電流離子注入機(jī)，安裝標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口并不是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)。所以安裝時(shí)必須同時(shí)修改搬送部控制器21和人機(jī)接口22的軟件。

2.如果采用SMART?TAG(智能卡)來(lái)標(biāo)識(shí)LOT，就必須增加多套讀、寫SMART?TAG的設(shè)備，不僅須重寫ONLINE軟件。而且還存在著與現(xiàn)有ONLINE系統(tǒng)兼容性的問題，這樣花費(fèi)的時(shí)間和費(fèi)用就會(huì)很多。

3.如果采用在標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口25側(cè)安裝條形碼讀取器29讀取BARCODE(條形碼)的方法，由于是隔著密封箱32的透明盒讀取BARCODE，而密封箱32長(zhǎng)時(shí)間使用后表面會(huì)拉毛，透明度會(huì)變差，BARCODE讀取出錯(cuò)的概率就會(huì)增加。

要解決這些問題必須找到一種新的方案，避免對(duì)設(shè)備側(cè)硬件和軟件的大量修改，又要使其適用于華虹NEC的ONLINE系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種中電流注入設(shè)備與標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口的通訊和控制方法，它不但可以減少設(shè)備附件，而且可以簡(jiǎn)化安裝標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械接口的程序，節(jié)省了時(shí)間。