[發明專利]中電流注入設備與標準機械接口的通訊和控制方法

有效

• 申請號: 200610029996.4
• 申請日: 2006-08-11
• 公開（公告）號: CN101123199A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: 薛紅強
• 申請（專利權）人: 上海華虹NEC電子有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司
• 代理人: 顧繼光

1.一種中電流注入設備與標準機械接口的通訊和控制方法，所述中電流注入設備端包括用于控制標準機械接口的搬送部控制器、人機接口和承載臺，所述中電流注入設備端與用于生產管理的系統主機相連，所述人機接口連接有條形碼讀取器，其特征在于，所述搬送部控制器與所述標準機械接口的并行輸入輸出接口相連，并選擇標準機械接口的裝載按鈕和卸載按鈕，所述條形碼讀取器位于中電流注入設備側；具體通信和控制方法如下：

第一步：檢測并裝載，搬送部控制器復位并檢測承載臺是否有硅片盒，如果沒有，則發出可以裝載硅片盒的信號，如果此時標準機械接口處于待機狀態并且可以檢測到密封箱，那么標準機械接口點亮裝載按鈕，此時操作人員可以按壓裝載按鈕將硅片盒運送到中電流注入設備上；

第二步：讀取信息，裝載后，通過人機接口通知條形碼讀取器讀取硅片盒上的批號信息，條形碼讀取器讀取信息后將該信息反饋給人機接口；

第三步：加工，人機接口將獲得的信息發送給系統主機，然后系統主機根據獲得的信息發送給中電流注入設備具體操作指令，中電流注入設備根據操作指令進行相應的操作加工；

第四步：核對并發送信息，在中電流注入設備完成作業后，通過人機接口通知條形碼讀取器讀取硅片盒上的批號信息，如果前后兩次信息相同，則人機接口向系統主機發送操作完成和本次作業數據信息；

第五步：卸載，核對確認后，搬送部控制器發出可以卸載的信號，由標準機械接口點亮卸載按鈕，然后操作人員按壓卸載按鈕，則標準機械接口將硅片盒收回到密封箱中。

2.如權利要求1所述的中電流注入設備與標準機械接口的通訊和控制方法，第一步所述發送可以裝載的信號的同時，同時鎖定卸載按鈕，并向其它標準機械接口的裝載按鈕發送鎖定信號。

3.如權利要求1所述的中電流注入設備與標準機械接口的通訊和控制方法，所述條形碼讀取器位于承載臺的旁邊。

4.如權利要求1所述的中電流注入設備與標準機械接口的通訊和控制方法，所述搬送部控制器是一種可編程控制器。