[發明專利]大氣壓射頻放電高速冷等離子體陣列發生器有效
| 申請號： | 200610011364.5 | 申請日： | 2006-02-24 |
| 公開（公告）號： | CN1812687A | 公開（公告）日： | 2006-08-02 |
| 發明（設計）人： | 李和平;包成玉;王華博;孫文廷 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | H05H1/40 | 分類號： | H05H1/40;H05H1/50;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100084北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 大氣壓 射頻 放電 高速 等離子體 陣列 發生器 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于清華大學，未經清華大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610011364.5/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
