[發明專利]大氣壓射頻放電高速冷等離子體陣列發生器有效
| 申請號： | 200610011364.5 | 申請日： | 2006-02-24 |
| 公開（公告）號： | CN1812687A | 公開（公告）日： | 2006-08-02 |
| 發明（設計）人： | 李和平;包成玉;王華博;孫文廷 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | H05H1/40 | 分類號： | H05H1/40;H05H1/50;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100084北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 大氣壓 射頻 放電 高速 等離子體 陣列 發生器 | ||
【權利要求書】：
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