[發明專利]多陰極脈沖弧等離子體源裝置無效
| 申請號： | 200610010244.3 | 申請日： | 2006-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN1901136A | 公開（公告）日： | 2007-01-24 |
| 發明（設計）人： | 王浪平;王小峰;王宇航;湯寶寅 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08;H01J37/04;H05G1/00 |
| 代理公司： | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001黑龍江*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陰極 脈沖 等離子體 裝置 | ||
【說明書】：
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