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[發明專利]多陰極脈沖弧等離子體源裝置無效

專利信息
申請號: 200610010244.3 申請日: 2006-06-30
公開(公告)號: CN1901136A 公開(公告)日: 2007-01-24
發明(設計)人: 王浪平;王小峰;王宇航;湯寶寅 申請(專利權)人: 哈爾濱工業大學
主分類號: H01J37/08 分類號: H01J37/08;H01J37/04;H05G1/00
代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 代理人: 岳泉清
地址: 150001黑龍江*** 國省代碼: 黑龍江;23
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摘要:
搜索關鍵詞: 陰極 脈沖 等離子體 裝置
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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