[發(fā)明專(zhuān)利]顯示裝置等電子裝置的制造裝置、制造方法及顯示裝置等的電子裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200580051600.X
• 申請(qǐng)日: 2005-09-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101268411A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 大見(jiàn)忠弘;森本明大;加藤丈佳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大見(jiàn)忠弘
• 主分類(lèi)號(hào): G02F1/13
• 分類(lèi)號(hào): G02F1/13;H01L29/786;G02F1/1333;G09F9/30;C23C8/14;H01L21/31;C23C4/10;H05K3/28;H01L21/02
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 李貴亮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于制造平板顯示器等顯示裝置或包含印刷電路板等的 電子裝置的制造裝置，另外，涉及這些的制造方法、以及制造的平板顯示 器等顯示裝置或包含印刷電路板等的電子裝置。

背景技術(shù)

以往，所有電子裝置在基板上包含與絕緣層一同形成的配線層。作為 其一例，舉顯示裝置尤其平板顯示器裝置進(jìn)行說(shuō)明。液晶顯示裝置或有機(jī) EL顯示裝置具有對(duì)矩陣狀配置的薄膜晶體管(以下，還稱(chēng)為“TFT”)的 配線結(jié)構(gòu)(有源矩陣結(jié)構(gòu))。

在有源矩陣結(jié)構(gòu)中，包括：傳遞數(shù)據(jù)信號(hào)的寫(xiě)入時(shí)序的掃描線、向像 素供給對(duì)應(yīng)于顯示圖像的數(shù)據(jù)信號(hào)的信號(hào)線、和配合掃描線上生成的時(shí)序 信號(hào)，供給數(shù)據(jù)信號(hào)的開(kāi)關(guān)元件。包含掃描線、信號(hào)線、和TFT的基板還 被稱(chēng)為有源矩陣基板，在基板的表面，利用減壓氣氛中的成膜或光刻法等 工序，形成有幾層電路圖案。

另一方面，為了提高顯示裝置的性能，一直探討如何提高稱(chēng)為開(kāi)口率 的顯示裝置的有效像素面積比例。作為第一方法，記載于特開(kāi)平09- 080416號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)或特開(kāi)平09-090404號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)2) 等中，其中研究了利用蒸鍍法或?yàn)R射法形成覆蓋通常具有高低差的TFT的 層間絕緣膜及其上的透明電極，將信號(hào)線和透明電極設(shè)為多層結(jié)構(gòu)，由此 提高開(kāi)口率的技術(shù)。其中，需要層間絕緣膜的光線透過(guò)率為90％以上。作 為第二方法，本發(fā)明人等先前在WO2005/057530A1(專(zhuān)利文獻(xiàn)3)中，提 出了為了吸收由柵配線生成的高低差而以包圍柵配線的方式構(gòu)成平坦化 層的技術(shù)。進(jìn)而將信號(hào)線厚膜化，減小配線寬度，由此提高開(kāi)口率。第一、 第二方法中的層間絕緣膜或平坦化層均使用透明的熱固化性樹(shù)脂。

關(guān)于現(xiàn)狀固化時(shí)的加熱氣氛，不使用環(huán)境控制。通常，通常在大氣中 或含有百分比級(jí)別(percent?order)的雜質(zhì)的氮等環(huán)境中加熱的空氣居多。 因此，根據(jù)條件的不同，熱固化性樹(shù)脂分解、離解，降低光線透過(guò)率，其 結(jié)果，顯示裝置的亮度變暗等，使顯示性能變差。作為使光線透過(guò)率變差 的原因，可以舉出如下情況，即：加熱條件基于熱分解熱固化性樹(shù)脂的溫 度以上的處理的情況、和由于加熱處理氣氛中的殘留氧或殘留水分，導(dǎo)致 熱固化性樹(shù)脂變差的情況。

另一方面，在以保溫柵配線的方式形成平坦化層的情況下，作為有源 矩陣基板的結(jié)構(gòu)，需要利用等離子處理裝置，在平坦化層正上方將TFT用 半導(dǎo)體層成膜。通常，等離子體成膜時(shí)的基板表面溫度達(dá)到300～350℃。 另外，從以往開(kāi)始知道，在半導(dǎo)體層形成工序中，來(lái)自工序氣氛的水分或 碳成分的混入對(duì)半導(dǎo)體特性產(chǎn)生大的影響。因此，為了抑制從平坦化層的 氣體發(fā)散量，需要進(jìn)行與半導(dǎo)體層成膜溫度相等或比其高的溫度、例如， 300℃以上的加熱處理。然而，可以說(shuō)，在現(xiàn)狀的用于平坦化層形成的熱 固化性樹(shù)脂的加熱工序中，對(duì)氣氛中的殘存氧量或水分量管理不充分，發(fā) 生熱固化性樹(shù)脂的劣化，從而存在光學(xué)透過(guò)率降低的問(wèn)題。

以上的問(wèn)題不限于有源矩陣基板，在印刷電路基板或電子裝置同類(lèi)中 也是伴隨微細(xì)化產(chǎn)生的問(wèn)題。

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：特開(kāi)平09-080416號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)2：特開(kāi)平09-090404號(hào)公報(bào)

專(zhuān)利文獻(xiàn)3：WO2005/057530A1

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供能夠進(jìn)行對(duì)電子裝置的高性能化高可靠性化 具有效果的加熱氣氛的控制的電子裝置的制造裝置、及制造方法。

另外，本發(fā)明的目的在于提供利用這些方法制造的高性能、高可靠性 的顯示裝置等電子裝置。

本發(fā)明人等為了實(shí)現(xiàn)上述目的，經(jīng)專(zhuān)心致志的研究的結(jié)果，發(fā)現(xiàn)電子 裝置制造中的制造裝置尤其加熱設(shè)備的內(nèi)表面的粗糙度及材質(zhì)對(duì)加熱氣 氛的氧或水分等雜質(zhì)含量產(chǎn)生大的影響，且控制加熱氣氛中的殘存氧量、 殘存水分量或還原性氣體量，對(duì)提高熱固化性樹(shù)脂的透明性提高有效，從 而完成了本發(fā)明。

因此，根據(jù)本發(fā)明可知，提供電子裝置制造用加熱處理裝置的內(nèi)表面 的表面粗糙度在以中心平均粗糙度Ra表現(xiàn)的情況下為1μm以下的制造裝 置。

還有，上述制造裝置的氧化物鈍態(tài)膜優(yōu)選氧化鉻、氧化鋁、氧化鈦中 的至少一種。

另外，根據(jù)本發(fā)明可知，優(yōu)選將加熱處理氣氛中用惰性氣體置換，且 將氣氛中的殘存氧濃度控制為10ppm以下。進(jìn)而，將殘存水分也控制在 10ppm以下。另外，優(yōu)選向惰性氣體中添加氫等還原性氣體0.1～100體積 ％。