[發明專利]顯示裝置等電子裝置的制造裝置、制造方法及顯示裝置等的電子裝置

無效

• 申請號: 200580051600.X
• 申請日: 2005-09-16
• 公開（公告）號: CN101268411A
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: 大見忠弘;森本明大;加藤丈佳
• 申請（專利權）人: 大見忠弘
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;H01L29/786;G02F1/1333;G09F9/30;C23C8/14;H01L21/31;C23C4/10;H05K3/28;H01L21/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 李貴亮

1.一種電子裝置的制造方法，其具有固化透明的熱固化性樹脂(44) 的工序，其特征在于，

進行所述固化的工序包括加熱處理，

在具有表面粗糙度以中心平均粗糙度Ra表現的情況下為～m以下的 內表面的加熱處理裝置(20)內以惰性氣體形成所述加熱處理的氣氛，所 述內表面具有：含有氧化鉻、氧化鋁、氧化鈦、氧化釔、氧化鎂中的至少 一種的氧化物鈍態膜，

通過所述加熱處理時所述氣氛中的殘存氧濃度控制在10ppm以下，殘 存水分濃度控制在10ppm以下，且添加0.1～100體積％的還原性氣體來 形成光線透過率為99％以上的樹脂膜。

2.根據權利要求1所述的電子裝置的制造方法，其特征在于，

所述還原性氣體為氫。

3.根據權利要求1所述的電子裝置的制造方法，其特征在于，

所述熱固化性樹脂(44)含有：一種或多種選自由丙烯酸系樹脂、硅 酮系樹脂、氟系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、聚烯烴系樹脂、脂環族烯烴系樹 脂、環氧系樹脂及二氧化硅系樹脂構成的組的樹脂。

4.一種電子裝置，其具有透明的熱固化性樹脂層(44)，其特征在于，

所述熱固化性樹脂層利用權利要求1所述的方法制造。

5.根據權利要求4所述的電子裝置，其特征在于，

所述電子裝置具有基板(31)，所述熱固化性樹脂層(44)與配線層 (42、43)一同配置于所述基板上。

6.根據權利要求4所述的電子裝置，其特征在于，

所述熱固化性樹脂含有：一種以上選自由丙烯酸系樹脂、硅酮系樹脂、 氟系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、聚烯烴系樹脂、脂環族烯烴系樹脂、及環氧 系樹脂構成的組的樹脂。

7.根據權利要求4所述的電子裝置，其特征在于，

所述電子裝置是平板顯示裝置、印制電路板、個人電腦或移動電話終 端。

8.根據權利要求4所述的電子裝置，其特征在于，

所述電子裝置是液晶顯示裝置或有機EL顯示裝置。

9.一種電子裝置，其具有有源矩陣基板(100)，該有源矩陣基板(100) 在絕緣性基板(31)上至少具有掃描線(32)、信號線(33)、和在該掃描 線和該信號線的交叉部附近，柵電極(41)與該掃描線連接，且源電極(42) 或漏電極(43)與該信號線連接的薄膜晶體管(40)，在所述薄膜晶體管 (40)和透明電極(52)之間存在有平坦化層(44)，其特征在于，

該平坦化層(44)由透明的熱固化性樹脂形成，所述熱固化性樹脂是 利用權利要求1所述的方法固化而成的。

10.根據權利要求9所述的電子裝置，其特征在于，

所述平坦化層(44)含有：含有堿可溶性脂環族烯烴樹脂、和放射線 敏感成分的樹脂組合物。

11.一種電子裝置，其具有有源矩陣基板(100)，該有源矩陣基板(100) 在絕緣性基板(31)上至少具有掃描線(32)、信號線(33)、和在該掃描 線和該信號線的交叉部附近，柵電極(41)與該掃描線連接，且源電極(42) 或漏電極(43)與該信號線連接的薄膜晶體管(40)，所述信號線、所述 源電極、以及所述漏電極的表面與包圍它們的平坦化層(44)基本上形成 同一平面，其特征在于，

該平坦化層(44)由透明的熱固化性樹脂形成，所述熱固化性樹脂是 利用權利要求1所述的方法固化而成的。

12.根據權利要求11所述的電子裝置，其特征在于，

所述平坦化層(44)含有：含有堿可溶性脂環族烯烴樹脂、和放射線 敏感成分的樹脂組合物。

13.一種電子裝置，其在等離子體CVD膜(40)和透明基板(52) 之間，含有光線透過率為99％以上的樹脂膜(44)，其特征在于，

所述樹脂膜(44)是利用權利要求1所述的方法制造的。

14.根據權利要求13所述的電子裝置，其特征在于，

所述樹脂膜(44)含有一種或多種選自由丙烯酸系樹脂、硅酮系樹脂、 氟系樹脂、聚酰亞胺系樹脂、聚烯烴系樹脂、脂環族烯烴系樹脂、環氧系 樹脂及二氧化硅系樹脂構成的組的樹脂。