[發(fā)明專(zhuān)利]用于晶片操縱的真空系統(tǒng)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200580049908.0
• 申請(qǐng)日: 2005-05-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101199048A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: V·奧格里亞利;F·普雷蒂
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: LPE公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/68
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/68
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 范莉

1.一種用于在處理設(shè)備(1)內(nèi)操縱晶片(W)的系統(tǒng)，包括：

-配備有吸入口的吸力系統(tǒng)(10)，

-具有第-端部和第二端部的吸力管(7)，所述第一端部連接至所述吸力系統(tǒng)(10)的所述吸入口，

-適于操縱晶片(W)和通過(guò)吸力保持晶片的工具(6)，所述工具連接至所述吸力管(7)的所述第二端部，以及

-用于調(diào)節(jié)所述吸力管中壓力的裝置；

其特征在于：所述調(diào)節(jié)裝置包括連接至所述吸力管(7)并且當(dāng)所述吸力管(7)中的壓力下降至預(yù)定值以下時(shí)能夠開(kāi)啟的閥(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述閥(8)包括通道(80)、彈簧(85)和能夠在所述彈簧(85)的作用下關(guān)閉所述通道(80)的可移動(dòng)部件(83、84)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述通道(80)在一側(cè)連接至所述吸力管(7)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述通道(80)在第二側(cè)連接至所述處理設(shè)備的內(nèi)腔(3)。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述閥(8)可被校準(zhǔn)，并且所述預(yù)定值取決于所述閥(8)的校準(zhǔn)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)包括作用于所述彈簧(85)的校準(zhǔn)螺釘(86)，其中通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)所述螺釘(86)來(lái)實(shí)現(xiàn)所述閥(8)的校準(zhǔn)。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述吸力系統(tǒng)(10)具有可設(shè)定或調(diào)節(jié)的吸力。

8.根據(jù)權(quán)利要求7的系統(tǒng)，其特征在于：所述吸力系統(tǒng)(10)包括由惰性氣體流供應(yīng)的噴射裝置，所述惰性氣體流通過(guò)可編程的質(zhì)量流量控制器控制。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)包括具有鉸接臂(51、52、53)的機(jī)械手(5)，所述工具(6)安裝于所述鉸接臂上。

10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述吸力管(7)基本上由柔性管(71)，優(yōu)選后面是剛性管(73)構(gòu)成，所述剛性管(73)通過(guò)可轉(zhuǎn)動(dòng)關(guān)節(jié)(72)連接到所述柔性管。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的系統(tǒng)，其特征在于：所述工具(6)包括主體(61)和裝置(51)，所述主體(61)構(gòu)造成和尺寸制成為用于與晶片(W)的邊緣接觸，從而在所述主體(61)和所述晶片(W)之間形成吸力腔(60)，所述裝置(51)設(shè)置用于將所述吸力腔(60)布置成與所述吸力管(7)相連通。

12.一種用于處理晶片(W)的設(shè)備(1)，其特征在于：所述設(shè)備包括根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的晶片操縱系統(tǒng)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的設(shè)備(1)，其特征在于：所述設(shè)備包括傳輸腔(3)，其中用于調(diào)節(jié)所述操縱系統(tǒng)的裝置的所述閥(8)連接至所述傳輸腔(3)。

14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的設(shè)備(1)，其特征在于：所述設(shè)備包括傳輸腔(3)，其中至少所述操縱系統(tǒng)的所述機(jī)械手(5)的所述臂(51、52、53)封裝在所述傳輸腔(3)內(nèi)。

15.一種調(diào)節(jié)用于操縱晶片(W)的系統(tǒng)中的壓力的方法，所述系統(tǒng)是包括連接至吸力管(7)的工具(6)的類(lèi)型的，其特征在于：閥(8)連接至所述吸力管(7)，并且當(dāng)所述吸力管(7)中的壓力下降至預(yù)定值以下時(shí)閥(8)開(kāi)啟。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于：將所述吸力管(7)連接至具有可設(shè)定或調(diào)節(jié)的吸力的吸力系統(tǒng)(10)。

17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的方法，其特征在于：使用工具(6)，所述工具包括主體(61)和裝置(51)，所述主體(61)構(gòu)造成和尺寸制成為用于與晶片(W)的邊緣接觸，從而在所述主體(61)和所述晶片(W)之間形成吸力腔(60)，所述裝置(51)用于將所述吸力腔(60)布置成與所述吸力管(7)相連通。