[發(fā)明專利]維修方法及其裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200580049208.1
• 申請日: 2005-03-24
• 公開（公告）號: CN101147093A
• 公開（公告）日: 2008-03-19
• 發(fā)明（設計）人: 阿部政弘
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G02B26/02
• 分類號: G02B26/02;G02F1/13;G02B26/08;G09F9/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉

技術領域

本發(fā)明涉及向例如在液晶顯示器(以下稱為LCD)的玻璃基板、半導體晶片、印刷基板等上產生的缺陷部照射激光來進行維修的維修方法及其裝置。

背景技術

在LCD制造工序中，進行針對在光刻(photolithography)處理工序中所處理的玻璃基板的各種檢查。作為該檢查結果，當在形成于玻璃基板上的抗蝕劑圖形或蝕刻圖形中檢測出缺陷部時，對該缺陷部照射激光來進行缺陷部的維修。

作為維修方法，例如有分別記載于專利文獻1和2中的技術。在專利文獻1中記載有如下的技術：將從紫外激光振蕩器輸出的紫外激光入射到可變矩形開口，利用各刀口的可動而對該可變矩形開口進行開閉，將紫外光的截面形狀整形為所期望大小的矩形而照射到缺陷部。

在專利文獻2中記載有如下的技術：將從激光振蕩器輸出的激光束入射到孔(aperture)，通過使該孔的各葉片(blade)伸縮和轉動來形成與缺陷部的形狀相應形狀的激光束。通過更換使用直線狀的葉片或具有不同曲率的半圓切口和半圓突起的各個葉片，從而孔對應于任意形狀的缺陷部。

專利文獻1：日本特開平9-5732號公報

專利文獻2：日本特開平3-13946號公報

在LCD制造工序的維修中，存在玻璃基板上的抗蝕劑圖形的維修和蝕刻圖形的維修。在抗蝕劑圖形的維修中，對形成在玻璃基板上的金屬膜上的抗蝕劑圖形的缺陷部照射激光來進行維修。在該維修中，在所維修的抗蝕劑圖形的基底上存在金屬膜，當向抗蝕劑圖形的缺陷部照射激光時，有時激光也會照射到基底的金屬膜上。即使如上述這樣激光照射到金屬膜，對金屬膜的影響也小，激光對金屬膜照射時的損傷可以忽略。

與此相對，在蝕刻圖形的維修中，為了對在玻璃基板上通過蝕刻所形成的金屬圖形的缺陷部照射激光，進行維修的金屬圖形基底成為玻璃基板。因此，當向金屬圖形的缺陷部照射激光時，如果也向作為基底的玻璃基板照射激光，則將對玻璃基板帶來損傷。受到損傷的玻璃基板的修復比較困難，必須廢棄玻璃基板本身，使LCD制造的成品率降低。以此，希望極力避免對玻璃基板的損傷。

另外，在作為維修對象的各缺陷部的形狀中，每個缺陷都不同，呈現出無法單靠簡單地組合直線和曲線來表示的復雜形狀。因此，如專利文獻1那樣，通過可變矩形開口的開閉，難以使紫外激光的截面形狀與缺陷部的形狀一致，導致偏離缺陷部而照射到維修對象外的圖形和基底，從而造成損傷。

在專利文獻2中，可通過使用各葉片來與任意形狀的缺陷部對應地對激光的截面形狀進行整形，但由于缺陷部的大小和形狀各不相同，所以無法對應于所有的缺陷部。另外，在對形狀不同的缺陷部進行維修的情況下，每當對這些缺陷部進行維修時，必須按照各缺陷部的形狀來對各葉片進行更換作業(yè)，維修作業(yè)花費時間。特別，在LCD的制造工序中，為實現降低成本，而要求提高成品率且縮短維修時間，但無法滿足該要求。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的在于，提供一種可與復雜形狀的缺陷部對應地對激光的截面形狀進行整形，來準確且高速地對缺陷部進行維修的維修方法及其裝置。

在本發(fā)明的維修方法中，向具有在縱橫方向上排列多個而形成的各調制要素的空間調制元件入射從激光光源輸出的激光，對該空間調制元件的各調制要素分別進行控制，通過所述各調制要素將所述激光的截面形狀整形為維修對象的形狀，向所述維修對象照射該整形后的所述激光來對該維修對象進行修復。

在本發(fā)明的維修方法中包含如下的工序：從圖像數據中提取出所述維修對象的形狀數據的工序；從激光光源輸出激光的工序；根據所述維修對象的形狀數據，分別對具有在縱橫方向上排列多個的各調制要素的空間調制元件的各調制要素進行控制，將從所述激光光源輸出的所述激光整形為所述維修對象形狀的工序；以及向所述維修對象照射由所述各調制要素所整形的所述激光，來對該維修對象進行修復的工序。

本發(fā)明的維修裝置具有：激光光源，其輸出激光；空間調制元件，其具有可分別控制的各調制要素，且在縱橫方向上排列多個該各調制要素而形成；攝像裝置，其對所述維修對象進行拍攝；維修對象提取單元，其從通過所述攝像裝置的拍攝而取得的圖像數據中提取出所述維修對象的形狀數據；激光形狀控制單元，其根據由所述維修對象提取單元所提取出的所述維修對象的形狀數據，來對所述空間調制元件的所述各調制要素進行控制，由所述各調制要素將所述激光整形為與所述維修對象形狀一致；以及光學系統(tǒng)，其向所述維修對象照射由所述空間調制元件的所述各調制要素所整形的所述激光。