[發明專利]維修方法及其裝置

無效

• 申請號: 200580049208.1
• 申請日: 2005-03-24
• 公開（公告）號: CN101147093A
• 公開（公告）日: 2008-03-19
• 發明（設計）人: 阿部政弘
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: G02B26/02
• 分類號: G02B26/02;G02F1/13;G02B26/08;G09F9/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉

1.一種維修方法，其特征在于，在該維修方法中，

向空間調制元件入射從激光光源輸出的激光，該空間調制元件具有在縱橫方向上排列多個而形成的各調制要素，

對該空間調制元件的各調制要素分別進行控制，通過所述各調制要素將所述激光的截面形狀整形為維修對象的形狀，

向所述維修對象照射該整形后的所述激光，來對該維修對象進行修復。

2.一種維修方法，其特征在于，該維修方法包括以下工序：

從圖像數據中提取出所述維修對象的形狀數據的工序；

從激光光源輸出激光的工序；

根據所述維修對象的形狀數據，分別對具有在縱橫方向上排列了多個的各調制要素的空間調制元件的各調制要素進行控制，將從所述激光光源輸出的所述激光整形為所述維修對象形狀的工序；以及

向所述維修對象照射由所述各調制要素所整形的所述激光，來對該維修對象進行修復的工序。

3.根據權利要求1或2所述的維修方法，其特征在于，從所述圖像數據中提取出的所述維修對象的形狀數據是對差異圖像數據或將所述差異圖像數據進行了二值化處理的缺陷形狀圖像數據進行圖像處理而求出的所述維修對象的輪廓線形狀數據，在對所述維修對象進行修復的工序中，向所述維修對象的輪廓線內部照射所述激光。

4.根據權利要求1～3中的任一項所述的維修方法，其特征在于，該維修方法還包括根據來自對具有所述維修對象的基板進行檢查的基板檢查裝置的檢查結果數據來將所述基板定位于維修位置的工序。

5.根據權利要求4所述的維修方法，其特征在于，該維修方法還包括根據來自所述基板檢查裝置的所述檢查結果數據來計算并判定在根據所述空間調制元件的大小而確定的所述可維修區域內是否存在多個所述維修對象的工序。

6.根據權利要求1～5中的任一項所述的維修方法，其特征在于，該維修方法還包括判定在根據所述空間調制元件的大小而確定的所述可維修區域內是否存在所述維修對象的工序。

7.根據權利要求1～6中的任一項所述的維修方法，其特征在于，對所述空間調制元件的所述各調制要素中的、與作為所述維修對象的缺陷形狀數據對應的所述各調制要素進行打開控制。

8.根據權利要求1～6中的任一項所述的維修方法，其特征在于，對所述空間調制元件的所述各調制要素中的、與作為所述維修對象的缺陷形狀數據以外的數據對應的所述各調制要素進行打開控制。

9.根據權利要求1～8中的任一項所述的維修方法，其特征在于，如果所述維修對象的維修不良，則根據該維修不良的所述維修對象的形狀數據來對所述空間調制元件的所述各調制要素再次進行控制，利用所述各調制要素來再次向所述維修不良的所述維修對象照射所述激光。

10.一種維修裝置，其特征在于，該維修裝置具有：

激光光源，其輸出激光；

空間調制元件，其具有可分別控制的各調制要素，且在縱橫方向上排列多個該各調制要素而形成；

攝像裝置，其對所述維修對象進行拍攝；

維修對象提取單元，其從通過所述攝像裝置的拍攝而取得的圖像數據中提取出所述維修對象的形狀數據；

激光形狀控制單元，其根據由所述維修對象提取單元提取出的所述維修對象的形狀數據來對所述空間調制元件的所述各調制要素進行控制，通過所述各調制要素將所述激光整形為與所述維修對象形狀一致；以及

光學系統，其向所述維修對象照射由所述空間調制元件的所述各調制要素所整形的所述激光。

11.根據權利要求10所述的維修裝置，其特征在于，將所述攝像裝置和所述空間調制元件配置成相對于所述維修對象共扼的位置關系。

12.根據權利要求10或11所述的維修裝置，其特征在于，所述空間調制元件對配置在與所述維修對象的形狀數據對應的區域中的所述各調制要素進行驅動。

13.根據權利要求10或11所述的維修裝置，其特征在于，所述空間調制元件對配置在與所述維修對象的形狀數據對應的區域之外的所述各調制要素進行驅動。