[發(fā)明專利]已校準(zhǔn)的壓力傳感器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200580048831.5
• 申請日: 2005-12-16
• 公開（公告）號(hào): CN101133309A
• 公開（公告）日: 2008-02-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: T·－Y·王;D·J·祖克;S·R·希菲;E·I·卡布斯;C·卡布斯
• 申請（專利權(quán)）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號(hào): G01L27/00
• 分類號(hào): G01L27/00;G01L9/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 盧江;王小衡

1.一種校準(zhǔn)電容性壓力傳感器的方法，其包括：

在所確定的壓差下向壓力傳感器的隔膜施加多個(gè)第一電壓；

多個(gè)第一電壓下測量隔膜的多個(gè)電容值；以及

將所測量的多個(gè)電容值轉(zhuǎn)換成壓力傳感器校準(zhǔn)機(jī)制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，轉(zhuǎn)換還包括調(diào)節(jié)基于施加到樣本壓力傳感器的壓差值和施加到樣本壓力傳感器的多個(gè)第二電壓中的至少一個(gè)所產(chǎn)生的基本校準(zhǔn)算法。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述壓力傳感器校準(zhǔn)機(jī)制包括基于與多個(gè)第一電壓相關(guān)聯(lián)的所測量的電容值和與多個(gè)第二電壓相關(guān)聯(lián)的所測量的電容值之間的比較來調(diào)節(jié)所述基本校準(zhǔn)算法。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所確定的壓差包括大約為零的壓差值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，多個(gè)第一電壓包括大約為零的電壓值。

6.一種校準(zhǔn)電容性壓力傳感器的方法，其包括：

基于壓力傳感器的第一壓差值和施加到壓力傳感器的第一施加電壓值來產(chǎn)生第一校準(zhǔn)機(jī)制；

在第二壓差下將多個(gè)第二電壓施加到壓力傳感器的隔膜；

在多個(gè)第二電壓下測量隔膜的多個(gè)電容值；以及

利用所測量的多個(gè)電容值來調(diào)節(jié)第一校準(zhǔn)機(jī)制，以產(chǎn)生第二校準(zhǔn)機(jī)制。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，第一和第二校準(zhǔn)機(jī)制中的至少一個(gè)是曲線圖、表格和等式中的至少一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，當(dāng)施加第一電壓值來產(chǎn)生第一校準(zhǔn)機(jī)制時(shí)，壓力傳感器上的至少一個(gè)第一壓差大約為零。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中，當(dāng)施加第一壓差值來產(chǎn)生第一校準(zhǔn)機(jī)制時(shí)，施加到壓力傳感器的至少一個(gè)第一施加電壓值大約為零。

10.一種具有執(zhí)行方法的程序指令的計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，該方法包括：

校準(zhǔn)壓力傳感器，該校準(zhǔn)包括：

將多個(gè)電壓施加到壓力傳感器的隔膜；

對應(yīng)于該多個(gè)施加電壓測量多個(gè)第一電容值；

將多個(gè)第一電容值與比較中的由樣本壓力傳感器所產(chǎn)生的第一校準(zhǔn)機(jī)制進(jìn)行比較，該第一校準(zhǔn)機(jī)制易受到多個(gè)壓差和多個(gè)施加電壓中的至少一個(gè)的影響；

通過響應(yīng)于該比較來調(diào)節(jié)第一校準(zhǔn)機(jī)制，產(chǎn)生第二校準(zhǔn)機(jī)制；

將未知的壓差施加到壓力傳感器的隔膜；

測量與該未知的壓差相關(guān)聯(lián)的第二電容值；以及

在所測量的第二電容值處從第二校準(zhǔn)機(jī)制中檢索壓差值，以確定該未知的壓差。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，第一和第二校準(zhǔn)機(jī)制中的至少一個(gè)是曲線圖、表格和等式中的至少一種。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，利用大約為零的施加電壓值來施加多個(gè)壓差。

13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其中，利用大約為零的壓差值來施加多個(gè)電壓。

14.一種系統(tǒng)，其包括：

具有隔膜的壓力傳感器；以及

校準(zhǔn)壓力傳感器的控制系統(tǒng)，

其中：

該控制系統(tǒng)將多個(gè)電壓施加到壓力傳感器的隔膜；

該控制系統(tǒng)對應(yīng)于多個(gè)施加電壓測量多個(gè)第一電容值；

該控制系統(tǒng)將多個(gè)第一電容值與比較中的由樣本壓力傳感器產(chǎn)生的第一校準(zhǔn)機(jī)制進(jìn)行比較，該第一校準(zhǔn)機(jī)制易受到多個(gè)壓差和多個(gè)施加電壓中的至少一個(gè)的影響；

該控制系統(tǒng)通過響應(yīng)于該比較來調(diào)節(jié)第一校準(zhǔn)機(jī)制，產(chǎn)生第二校準(zhǔn)機(jī)制；

該控制系統(tǒng)將未知的壓差施加到壓力傳感器的隔膜；

該控制系統(tǒng)測量與該未知的壓差相關(guān)聯(lián)的第二電容值；以及該控制系統(tǒng)在所測量的第二電容值處從第二校準(zhǔn)機(jī)制中檢索壓差值，以確定該未知的壓差。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中，利用大約為零的施加電壓值施加多個(gè)壓差。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中，利用大約為零的壓差值來施加多個(gè)電壓。

17.一種系統(tǒng)，其包括：

具有隔膜的壓力傳感器；以及

用于在不使用隔膜上的已知的非零壓差的情況下來校準(zhǔn)壓力傳感器的裝置。