[發(fā)明專利]已校準的壓力傳感器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200580048831.5
• 申請日: 2005-12-16
• 公開（公告）號: CN101133309A
• 公開（公告）日: 2008-02-27
• 發(fā)明（設計）人: T·－Y·王;D·J·祖克;S·R·希菲;E·I·卡布斯;C·卡布斯
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00;G01L9/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 盧江;王小衡

相關專利申請

本專利申請涉及2004年2月19日提交的專利申請，該專利申請的案卷號為7268且標題為“Capacitive?Function?Generator(電容性函數發(fā)生器)”。

技術領域

本申請通常涉及包括隔膜的壓力傳感器。

背景技術

一些工業(yè)、商業(yè)、航空航天和軍用系統(tǒng)取決于用于進行流體(包括氣體)處理的可靠的壓力傳感器。壓力傳感器被用來測量各種不同學科領域的流體壓力。在近年來的趨勢中，越來越多地采用內消旋技術(meso?technology)。內消旋技術使用相對小的裝置和靜電力來移動壓力傳感器之內的隔膜。常常通過在兩個成對電極之間施加電壓來施加該靜電力，這兩個成對電極通常附著到選定的壁和/或隔膜。該靜電力導致成對電極之間的引力，該引力使得選定的壁或者隔膜朝向彼此運動。

當制造壓力傳感器時，這些壓力傳感器在工廠被微調(trim)或者被校準。微調每個壓力傳感器會帶來相關聯(lián)的費用，在某些情況下，這些費用會超過制造壓力傳感器的成本。然而，在不首先微調壓力傳感器的情況下，該壓力傳感器在當前一組條件下可能是不準確的。

與準確的工廠微調無關，壓力傳感器的隔膜還會被機械應力、老化以及諸如溫度、濕度和大氣壓等多種環(huán)境因素危害。因此，壓力傳感器的準確度會在“現場”妥協(xié)。

附圖說明

圖1示出包括根據實例實施例的壓力傳感器的系統(tǒng)的橫截面?zhèn)纫晥D。

圖2示出確定壓力傳感器的校準機制的過程的實例實施例。

圖3示出電容值與壓力值以及壓差值的示意性圖形表示的實例實施例。

圖4示出校準壓力傳感器的過程的實例實施例。

圖5示出利用圖4中所產生的最終校準機制來確定施加到壓力傳感器的未知壓差值的過程的實例實施例。

在附圖中，相同的參考符號貫穿這幾幅視圖指示相同或相對應的部件和單元。

具體實施方式

圖1示出根據實例實施例的系統(tǒng)100的橫截面?zhèn)纫晥D，該系統(tǒng)100包括壓力傳感器110和控制系統(tǒng)120。壓力傳感器110包括外殼130、隔膜140、流體入口150和排出口160或者流體出口端。壓力傳感器110可使用隔膜140來針對所引入的流體測量傳感器中的壓差，如下面將更詳細說明的那樣。

外殼130可以由任何合適的半剛性或者剛性材料制成，這些材料諸如塑料、陶瓷、硅等等。然而，外殼體130可以通過塑成高溫塑料或者一些其它合適的塑料材料來構造，所述高溫塑料諸如是ULTEM^TM(可從美國馬薩諸塞州匹茲菲爾德市的通用電氣公司得到)、CELAZOLE^TM(可從美國新澤西州薩米特市的Hoechst-Celanese公司得到)、KETRON^TM(可從美國賓夕法尼亞州里丁市的Polymer公司得到)。

外殼130包括第一內壁190和第二內壁195。出于圖解說明的目的，第二內壁195被示為通常是平的。然而，第二內壁195可以采取其它形狀，這取決于應用。例如，第二內壁195可以具有相對于隔膜140凹陷或者突起的不同區(qū)域，以便例如防止隔膜140吸鎖到第二內壁195。如果需要，還可以采用其它形狀，包括采用曲面形狀。雖然第一內壁190在橫截面被示為圓錐形和曲線形，但是也可以采用其它形狀，這取決于應用。

在所示實施例中，隔膜140被包含在外殼之內。隔膜140具有面對第二內壁195的第一表面170和面對外殼的第一內壁190的第二表面180。

隔膜可以是用一材料做的，具有一形狀或者以一形式布置，以致隔膜一旦變形就會產生將隔膜朝向第二內壁195拉回的復原力。隔膜140可以由任何合適的材料制成，這些材料有彈性、有回彈力、有韌性或者有其它彈體性能。隔膜140可以由聚合物或任何其它合適材料制成，所述聚合物諸如是KAPTON^TM(可從美國特拉華州威爾明頓市的E.I.du?Pont?de?Nemours?&Co.公司得到)、KALADEX^TM(可從美國特拉華州威爾明頓市的ICI?Films公司得到)、MYLAR^TM(可從美國特拉華州威爾明頓市的E.I.du?Pont?de?Nemour?s&Co.公司得到)。

利用基于聚合物的襯底和/或隔膜制得的壓力傳感器廉價、重量輕和/或適用于小型手持應用，或者甚至適用于可自由使用的或可再次使用的應用。