[發明專利]高速線性運動機構

無效

• 申請號: 200580048484.6
• 申請日: 2005-12-05
• 公開（公告）號: CN101124522A
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: 尤金·G·奧爾扎克
• 申請（專利權）人: 通用電氣公司
• 主分類號: G05B19/19
• 分類號: G05B19/19;H01L41/09
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 封新琴

1.一種運動機構，包括：

構造用于支承有效載荷的有效載荷支承部分；

接地部分；

在第一接觸點連接到有效載荷支撐部分上并在第二接觸點連接到接地部分上的第一側部分；

在第三接觸點連接到有效載荷支撐部分并在第四接觸點連接到接地部分上的第二側部分；

第一轉換器，它設置成在受驅動時在第一線性方向上對第一側部分提供力，從而該第一側部分在基本正交于第一方向的第二方向上在第一接觸點處對有效載荷支撐部分提供力；及

第二轉換器，它設置成在受驅動時在第三線性方向上對第二側部分提供力，從而該第二側部分在基本正交于第三方向的第四方向上在第三接觸點處對有效載荷支撐部分提供力。

2.如權利要求1所述的運動機構，其中當第一方向和第三方向彼此相反，并且第二方向基本與第四方向相同。

3.如權利要求1所述的運動機構，其中接觸點包括剛性或半剛性材料。

4.如權利要求1所述的運動機構，其中接觸點包括剛性或半剛性材料，并且有效載荷支撐部分、第一和第二側部分和接地部分整體形成。

5.如權利要求1所述的運動機構，其中接觸點、有效載荷支撐部分、第一和第二側部分和接地部分都屬于相同材料。

6.如權利要求5所述的運動機構，其中接觸點、有效載荷支撐部分、第一和第二側部分和接地部分包括鈦合金、鋁合金或鋼中的至少一種。

7.如權利要求1所述的運動機構，其中當第一轉換器受驅動并在第一方向上對第一側部分提供力時，第一側部分繞著第二接觸點轉動，并且當第二轉換器受致動并在第三方向上對第二側部分提供力時，該第二側部分繞著第四接觸點轉動。

8.如權利要求7所述的運動機構，其中第一和第二側部分基本為L形。

9.如權利要求1所述的運動機構，其中該接地部分包括接地塊，并且該機構還包括：

至少一個噴嘴，它設置在該接地塊上，以朝有效載荷支撐部分提供噴灑。

10.如權利要求1所述的運動機構，還包括：

設置成探測有效載荷支撐部分的位置的位置探針。

11.如權利要求10所述的運動機構，其中該位置探針為電容表、激光測距儀或干涉儀中的至少一個。

12.如權利要求1所述的運動機構，還包括：

連接到有效載荷支撐部分上的有效載荷，其中該有效載荷包括切割工具或激光頭中的至少一個。

13.如權利要求12所述的運動機構，其中有效載荷包括鉆石切割工具。

14.如權利要求1的運動機構，還包括：

接地部分的至少一部分和有效載荷之間的約束層，它構造成對有效載荷支撐部分的運動提供粘性阻尼。

15.如權利要求14所述的運動機構，其中該約束層包括聚丙烯。

16.如權利要求1所述的運動機構，其中第一和第二轉換器包括壓電堆。

17.如權利要求1所述的運動機構，其中有效載荷支撐部分的運動的響應頻率大于大約4kHz。

18.如權利要求1所述的運動機構，其中第一轉換器和第二轉換器構造成具有相對于彼此的相對極性。

19.一種運動機構，包括：

構造成支撐有效載荷的有效載荷支撐部分；

接地部分；

在第一接觸點處連接到有效載荷支撐部分上并在第二接觸點處連接到接地部分上的第一側部分；

在第三接觸點處連接到有效載荷支撐部分并在第四接觸點處連接到接地部分上的第二側部分；及

第一轉換器，它設置成在受致動時在第一線性方向上對第一側部分提供力，從而該第一側部分在基本正交于第一方向的第二方向上在第一接觸點處對有效載荷支撐部分提供力。