[發明專利]磁記錄介質、其制造方法以及磁記錄和再現裝置

無效

• 申請號: 200580048297.8
• 申請日: 2005-10-27
• 公開（公告）號: CN101120403A
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發明（設計）人: 大澤弘;清水謙治
• 申請（專利權）人: 昭和電工株式會社
• 主分類號: G11B5/738
• 分類號: G11B5/738;G11B5/73;G11B5/64;G11B5/851;G11B5/65
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所
• 代理人: 楊曉光;于靜

本申請要求2005年2月25日提交的日本申請No.2005-050878、2005年3月22日提交的日本申請No.2005-082053、以及2005年6月13日提交的日本申請No.2005-172199的優先權，這些日本申請在此引用作為參考。本申請還根據35U.S.C.§119(e)(1)要求于2005年3月4日提交的美國臨時申請No.60/658,145的優先權。

技術領域

本發明涉及用于硬盤驅動器等的磁記錄介質、該磁記錄介質的制造方法以及磁記錄和再現裝置。

背景技術

硬盤驅動器(HDD)是一種磁記錄和再現裝置，它當前已經達到100G比特/平方英寸的記錄密度，據說在未來記錄密度還會以30％的年增長率增長。因此，磁記錄頭的發展和適用于高記錄密度的磁記錄介質的發展得以推進。人們希望能夠增加用于硬盤驅動器的磁記錄介質的記錄密度，從而改進矯頑磁力以及減小介質噪音。通過濺射工藝將金屬膜層疊到磁記錄介質基底上形成的結構是當前用于硬盤驅動器的磁記錄介質的主流。廣泛采用鋁基底和玻璃基底作為磁記錄介質基底。鋁基底是鏡面拋光的鋁鎂合金，其中通過化學鍍將Ni-P型合金膜形成在該基底上達大約10微米厚度，其中表面被進一步鏡面拋光。無定形玻璃和結晶玻璃是適用于玻璃基底的兩種玻璃。對于每種玻璃基底，采用經過鏡面拋光的玻璃基底。

當前，在通常用于硬盤驅動器的磁記錄介質中，在非磁性基底上依次沉積非磁性內涂層(Cr、Cr型合金等等、Ni-Al型合金)、非磁性中間層(Co-Cr，Co-Cr-Ta型合金等等)、磁性層(Co-Cr-Pt-Ta，Co-Cr-Pt-B型合金等等)和保護層(碳等等)，其中包括液體潤滑劑的潤滑層形成在該非磁性基底上。

Co-Cr-Pt-Ta，Co-Cr-Pt-B合金等等用作該磁性層，其中包括Co作為主要成分。Co合金具有密排六方結構(hcp結構)，它具有易磁化軸C軸。可以采用平面內記錄和垂直記錄來作為磁記錄介質的記錄方法，其中Co合金通常用于磁性膜。在平面內記錄的情況下，Co合金的C軸取向為平行于該非磁性基底，而在垂直介質的情況下，Co合金的C軸取向為垂直于該非磁性基底。因此，在平面內記錄的情況下，Co合金優選取向在(10·0)平面或(11·0)平面中。

為了增加磁記錄介質的記錄密度，需要減小介質噪音。下面的非專利文獻1描述了一個理論公式，該理論公式表明，使Co合金的平均晶粒直徑以及粒度分布更小是減小介質噪音的有效方法。下面的非專利文獻2描述了，通過使Co合金的平均晶粒直徑以及粒度分布更小，介質噪音減小，以及提供了適用于高記錄密度的磁記錄介質。通過這種方式，讓Co合金的平均晶粒直徑以及粒度分布更小對于減小介質噪音是重要的因素。由于Co合金能夠外延生長在Cr合金上，所以容易想到，形成Co合金膜有助于使Co合金的平均晶粒直徑以及粒度分布更小。

之前已經有報道稱，添加多種元素到Cr可以改進它的特性。下面的專利文獻1描述了添加Ti到Cr中是有效的。下面的專利文獻2描述了添加V到Cr中是有效的。下面的專利文獻3描述了添加Mo和W到Cr中是有效的。下面的專利文獻4和專利文獻5描述了通過將Cr作為主要成分而附加成分不同的兩個層來構造內涂層是有效的。在下面的專利文獻6中，描述了將氧和氮添加到Cr為主要成分的非磁性內涂層是有效的。

【專利文獻1】日本未審查專利申請，首次公開號No.Sho?63-197018

【專利文獻2】美國專利No.4652499

【專利文獻3】日本未審查專利申請，首次公開號No.Sho63-187416

【專利文獻4】日本未審查專利申請，首次公開號No.Hei7-73427

【專利文獻5】日本未審查專利申請，首次公開號No.2000-322732

【專利文獻6】日本未審查專利申請，首次公開號No.Hei11-283235

【專利文獻7】歐洲專利No.0704839

【專利文獻8】日本未審查專利申請，首次公開號No.2003-123243

【非專利文獻1】J.Appl.Phys.Vol.87，pp.5365-5370

【非專利文獻2】J.Appl.Phys.Vol.87，pp.5407-5409

發明內容