[發(fā)明專利]利用照射的器件圖案化

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200580044619.1
• 申請日: 2005-12-29
• 公開（公告）號: CN101438430A
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: S·普拉卡什;N·特羅昂
• 申請（專利權(quán)）人: E.I.內(nèi)穆爾杜邦公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/56;G03F7/20
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 朱黎明

交叉引用

本申請要求2004年12月30日提交的美國臨時專利申請第60/640,600號和 2005年6月27日提交的第60/694,394號的優(yōu)先權(quán)，其公開內(nèi)容通過引用整體結(jié)合 于此。

領(lǐng)域

本發(fā)明一般涉及器件圖案化技術(shù)，尤其涉及涉及電子器件的一層的照射的圖 案化技術(shù)。

背景

有機(jī)電子器件將電能轉(zhuǎn)化成輻射，通過電子過程檢測信號，將輻射轉(zhuǎn)化為電 能，或包括一層或多層有機(jī)半導(dǎo)體層。例如，有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)是一種類型 的有機(jī)電子器件，它包括在稱為電致發(fā)光的過程中在施加電流時發(fā)射光子的特定有 機(jī)膜(光敏有機(jī)膜)。從有機(jī)電子器件中的光敏有機(jī)膜發(fā)射的光可用于電顯示器和微 電子器件。例如，在有機(jī)電子器件顯示器的某些應(yīng)用中，有機(jī)電子器件用作段式顯 示器或圖標(biāo)。因此，相同的圖像由有機(jī)電子器件重復(fù)或連續(xù)地顯示，而非從可被選 擇性地激活以生成各種圖像的一組像素生成圖像。結(jié)果，在有機(jī)電子器件的制造過 程中形成圖像。

常規(guī)的光刻膠圖案化技術(shù)能夠形成一般具有可接受的邊緣清晰度的圖像，但 這些技術(shù)最適用于具有剛性襯底的器件。諸如柔性有機(jī)電子器件顯示器之類的具有 柔性襯底的器件不能對常規(guī)的光刻膠圖案化技術(shù)作出良好的響應(yīng)。

因此，需要的是一種能夠克服以上不足和缺點的有機(jī)電子器件的圖案化方法。

概要

在一個實施例中，提供一種用于在有機(jī)電子器件的一層中形成圖案的方法以 及通過該方法制造的器件和子組件，該方法包括選擇性地照射該層的一部分。

以上一般描述和以下詳細(xì)描述僅僅是示例性和說明性的，并非對如所附權(quán)利 要求書定義的本發(fā)明的限制。

附圖簡述

各實施例示于附圖中以增進(jìn)對本文提出的概念的理解。

圖1A是示出其中可實現(xiàn)本發(fā)明的各方面的示例性O(shè)LED的分解圖的圖；

圖1B是示出常規(guī)器件圖案化技術(shù)的分解圖的圖；

圖1C是示出根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的器件圖案化技術(shù)的分解圖的圖；

圖2是示出根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的發(fā)光器件的圖案化方法的流程圖；以 及

圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的發(fā)光器件的圖案化方法的流程圖。

附圖作為示例提供而不旨在限制本發(fā)明。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將意識到附圖中 的對象是為了簡化和清楚的目的而示出的，并且不一定是按比例繪制的。例如，附 圖中某些對象的尺寸可相對于其它對象放大以幫助增進(jìn)對本發(fā)明的理解。

詳細(xì)描述

在一個實施例中，提供了一種在有機(jī)電子器件的一層中形成圖案的方法。該 方法包括選擇地照射該層的一部分。

在一個實施例中，該層不是活性層。

在一個實施例中，該層的未照射的一部分維持導(dǎo)電，從而形成由該緩沖層的 導(dǎo)電和不導(dǎo)電部分形成的圖案。

在一個實施例中，該層的該部分用紫外光照射。

在一個實施例中，該方法還包括將掩模涂到該層上以阻擋紫外光到達(dá)該層中 期望導(dǎo)電的一部分。

在一個實施例中，該方法還包括在該層上沉積聚合物層，并通過掩模進(jìn)行陰 極沉積，其中該掩模圍繞期望導(dǎo)電的至少一個特征部。

在一個實施例中，該方法還包括向聚合物層沉積觸點和引線。

在一個實施例中，氣氛包括空氣。

在一個實施例中，提供了一種用于在有機(jī)電子器件中形成圖案的系統(tǒng)。該系 統(tǒng)包括有機(jī)電子器件的一層和用于選擇性地照射該層的一部分的光源，其中選擇性 照射的部分在照射后變?yōu)椴粚?dǎo)電。

在一個實施例中，該光源形成由該層的導(dǎo)電部分和不導(dǎo)電部分形成的圖案。

在一個實施例中，該光源是紫外光源。

在一個實施例中，該紫外光源是激光器。

在一個實施例中，該激光光源是紫外光燈泡。

在一個實施例中，該系統(tǒng)還包括用于阻擋照射到達(dá)該層中期望發(fā)光的一部分 的掩模。

在一個實施例中，提供了一種有機(jī)電子器件。該有機(jī)電子器件包括緩沖層， 其中該緩沖層具有導(dǎo)電部分和不導(dǎo)電部分，且其中該緩沖層的不導(dǎo)電部分用紫外光 照射。

在一個實施例中，將聚合物層沉積到該緩沖層上。

在一個實施例中，該緩沖層是(聚(3，4-亞乙基二氧噻吩)聚(苯乙烯磺酸鹽))。

在一個實施例中，提供了一種包括以上討論的有機(jī)電子器件的組合物。