[發明專利]用于高頻測量的探針頭

有效

• 申請號: 200580040909.9
• 申請日: 2005-11-21
• 公開（公告）號: CN101076734A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: 斯蒂芬·西斯;邁克爾·沃利特策
• 申請（專利權）人: 羅森伯格高頻技術有限及兩合公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 趙科

技術領域

本發明涉及根據權利要求1前序部分的用于尤其在半導體晶片上 的高頻測量的接觸裝置，尤其是用于測量探針或測試頭的接觸裝置， 其具有用于與平面結構電接觸的接觸端，其中在接觸端設置具有至少 兩個由電介質支承的導體的共面導體結構，在電介質和接觸端之間這 樣構造探針頭，使得空間上自由并且對于夾持電介質彈性地設置導體。

背景技術

DE?199?45?178?C2中公開了一種探針頭形式的接觸裝置。為了測 試例如在晶片上所制造的電子電路的功能性和電性能，通常使用這樣 的探針頭，即其機械地放置在待測試電子電路的相應接觸位置上。這 樣的待測試電子電路還越來越多地生成和/或處理高頻信號，從而對于 探針頭得到相應考慮的阻抗。換句話說，探針頭必須具有在觸點處與 待測試電子電路匹配的阻抗，因為否則在失配時，如一般所公知的那 樣，產生以不期望的方式影響測量結果或甚至使測量無法進行的相應 反射。而且，在探針頭本身上不應該發生阻抗變化，因為這樣的阻抗 跳躍(Impedanzspruenge)也產生相應的反射點。

文獻JP?2001066324?A描述了一種探針頭適配器，其包含未安裝 的小印制電路板，并且可與BNC插頭連接。通過裝配生產電路。然 而，制造和裝配該裝置成本很高。而且，沒有涉及受控阻抗的制備 (Vorkehrung)。

發明內容

本發明的任務是對于信號傳輸和可能的應用領域改進和/或擴大 上述類型的接觸裝置。

根據本發明，通過具有權利要求1所限定的特征的上述類型的接 觸裝置來完成該任務。在其他權利要求中描述了本發明的有利實施例。

根據本發明，在上述類型的接觸裝置中，在電介質上設置至少一 個用于傳輸電信號的裝置，該裝置與共面導體結構的至少一個導體電 連接，從而該裝置傳輸至少一個與該裝置電連接的導體的信號。

這具有以下優點，即可以接收和向觸點傳輸多個HF信號和/或 HF通道，其中該裝置還支持無干涉且盡可能無損耗的信號傳輸。同 時產生小的和/或節省空間的結構。此外，該裝置使得接觸裝置能夠與 最不同的測量任務相匹配，從而接觸裝置的應用范圍被擴展到探針頭 和管腳卡(Nadelkarten)。

在一個優選實施例中，在電介質上設置至少一個用于分接電信號 的觸點，其中這樣布置和構造用于傳輸電信號的裝置，使得該裝置將 電信號從至少一個與該裝置電連接的導體傳輸到觸點。

例如，用于傳輸電信號的裝置是電子電路。

在一個優選實施例中，接觸裝置包括具有同軸導體結構的同軸纜 線端，其中用于傳輸電信號的裝置與同軸導體結構的至少一個同軸纜 線接頭相連，使得用于傳輸電信號的裝置在至少一個與該裝置電連接 的導體和同軸導體結構的至少一個與該裝置電連接的同軸纜線接頭之 間傳輸電信號。

有利地，在同軸纜線端，兩個或多個用于與相應同軸纜線連接的 同軸纜線接頭被設置，并且與用于傳輸電信號的裝置電連接。

通過使電介質延伸到同軸纜線端，實現了共面導體結構的導體、 用于傳輸電信號的裝置以及同軸纜線端處HF觸點及可能的DC觸點 的底板形式的統一保持件(Halterung)。

在一個優選實施例中，用于傳輸電信號的裝置包括重接線 (Umverdrahtung)、匹配網絡和/或有源電路。

為了傳輸例如電源電壓和/或控制信號，在電介質處，至少一個 直流觸點被設置，并且與用于傳輸電信號的裝置電連接。

在一個優選實施例中，在電介質處設置用于操縱器的保持件。

例如，共面導體結構的導體通過焊接和/或點焊連接而與用于傳 輸電信號的裝置的各印制導線電連接。

為了確保裝置上恒定的特性阻抗(Wellenwiderstand)，在共面 導體結構的每兩個導體之間，在其整個長度上這樣構造相應的縫隙， 使得在共面導體結構的長度上得到恒定的特性阻抗，其中尤其是電介 質區域中的各縫隙被構造為比共面半導體結構的沒有電介質的區域中 的寬。

為了抑制高于期望工作頻率的更高階模式，背向(abgewandt) 共面導體結構的一側上的電介質被整個表面地金屬化。此外，由此在 電介質區域中得到封閉的、屏蔽的結構。

例如，在共面導體結構的至少一側、尤其在兩側設置電介質。

附圖說明