[發明專利]用于高頻測量的探針頭

有效

• 申請號: 200580040909.9
• 申請日: 2005-11-21
• 公開（公告）號: CN101076734A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: 斯蒂芬·西斯;邁克爾·沃利特策
• 申請（專利權）人: 羅森伯格高頻技術有限及兩合公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 趙科

1.一種用于高頻測量的接觸裝置，具有用于與平面結構電接觸 的接觸端(12)，其中在接觸端(12)處設置具有至少兩個由電介質 (10)支承的導體(14)的共面導體結構，其中在電介質(10)與接 觸端(12)之間構造探針頭以使得空間自由地并且對于保持電介質(10) 彈性地設置共面導體結構的導體(14)，其特征在于，

在電介質(10)上設置至少一個用于傳輸電信號的裝置(24)， 所述用于傳輸電信號的裝置(24)與共面導體結構的至少一個導體(14) 電連接以使得該用于傳輸電信號的裝置(24)傳輸來自至少一個與所 述用于傳輸電信號的裝置(24)電連接的導體(14)的信號，其中在 共面導體結構的每兩個導體(14)之間，在共面導體結構的整個長度 上，構造各縫隙以使得在共面導體結構的長度上產生恒定的特性阻抗；

所述接觸裝置包括具有同軸導體結構的同軸纜線端(16)，其中 所述用于傳輸電信號的裝置(24)與同軸導體結構的至少一個同軸纜 線接頭(18)相連以使得所述用于傳輸電信號的裝置(24)在至少一 個與所述用于傳輸電信號的裝置(24)電連接的導體(14)和同軸導 體結構的至少一個與所述用于傳輸電信號的裝置(24)電連接的同軸 纜線接頭(18)之間傳輸信號；以及

所述電介質(10)延伸直到同軸纜線端(16)。

2.如權利要求1所述的接觸裝置，其特征在于，在所述電介質 (10)上設置至少一個用于分接電信號的觸點，其中所述用于傳輸電 信號的裝置(24)被設置和構造為使得所述用于傳輸電信號的裝置(24) 將至少一個與所述用于傳輸電信號的裝置(24)電連接的導體(14) 的電信號傳輸到觸點。

3.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，所述用于 傳輸電信號的裝置(24)是電子電路。

4.如權利要求1所述的接觸裝置，其特征在于，在所述同軸纜 線端(16)處，兩個或更多個用于與相應同軸纜線連接的同軸纜線接 頭(18)被設置，并且與所述用于傳輸電信號的裝置(24)電連接。

5.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，所述用于 傳輸電信號的裝置(24)包括重接線、匹配網絡和有源電路。

6.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，在所述電 介質(10)處，至少一個直流觸點(20)被設置，并且與用于傳輸電 信號的裝置(24)電連接。

7.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，在所述電 介質(10)處，設置用于操縱器的保持件(92)。

8.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，共面導體 結構的導體(14)通過焊接和/或點焊連接與用于傳輸電信號的裝置 (24)的各印制導線(26)電連接。

9.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，所述接觸 裝置用于測量探頭或測量頭。

10.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，所述高頻 測量在半導體晶片上執行。

11.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，所述用于 傳輸電信號的裝置(24)包括重接線和匹配網絡。

12.如權利要求1或2所述的接觸裝置，其特征在于，所述用于 傳輸電信號的裝置(24)包括重接線和有源電路。