[發(fā)明專利]用于等離子體處理系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)執(zhí)行的數(shù)據(jù)表示技術(shù)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200580039694.9
• 申請(qǐng)日: 2005-09-23
• 公開（公告）號(hào): CN101061465A
• 公開（公告）日: 2007-10-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安德魯三世·D·貝利;普尼特·亞達(dá)夫
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): G06F11/30
• 分類號(hào): G06F11/30;G21C17/00;G06F15/00
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 余剛;尚志峰

技術(shù)領(lǐng)域

通常，本發(fā)明總的來說涉及一種襯底制造技術(shù)，具體地，涉及一種用于等離子體處理系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)執(zhí)行的數(shù)據(jù)表示技術(shù)。?

背景技術(shù)

經(jīng)常花費(fèi)上億美元用于設(shè)計(jì)和操作半導(dǎo)體制造設(shè)施。因此，優(yōu)化生產(chǎn)能力并降低成本對(duì)收益率來說是非常重要的。然而，這些設(shè)施內(nèi)的主要設(shè)備處理系統(tǒng)經(jīng)常需要大量的人為干涉，產(chǎn)生工藝改變甚至全部操作錯(cuò)誤的可能性。?

通常，通過包含操作軟件程序的復(fù)雜計(jì)算機(jī)來控制大多數(shù)襯底的主要設(shè)備處理系統(tǒng)，其中，通過接口為用戶提供了將請(qǐng)求發(fā)送到設(shè)備并接收來自設(shè)備的輸出信息的能力。通常，周期性地測(cè)量上千個(gè)處理測(cè)量值(即，在目標(biāo)蝕刻步驟期間順序測(cè)量電磁發(fā)射頻譜)，并且隨后將這些測(cè)量值轉(zhuǎn)換為與感興趣的系統(tǒng)參數(shù)相關(guān)的較小的綜合變量組(即，例如是否必須替換卡盤)。?

然而，在處理襯底時(shí)，以操作者可理解和可操作的形式有效地分析、總結(jié)、以及顯示處理信息是存在問題的。一般地，等離子體處理是動(dòng)態(tài)的，因此難以監(jiān)控。例如，殘留物會(huì)積累在處理室的壁上，改變等離子體的化學(xué)特性，或者室結(jié)構(gòu)會(huì)發(fā)生等離子體破壞，改變處理的電特性等。?

等離子體處理設(shè)備通常配置有一些類型的通知操作者系統(tǒng)是否準(zhǔn)備好運(yùn)轉(zhuǎn)的離散視覺通知或報(bào)警裝置。盡管很普通，但基本類型的通知系統(tǒng)包括連接至處理系統(tǒng)并與機(jī)器準(zhǔn)備狀態(tài)相對(duì)應(yīng)的一系列燈。綠色可以表示“達(dá)到(go)”狀態(tài)。紅色可以表示“未達(dá)到(no?go)”狀態(tài)。以及盡管黃色和紅色狀態(tài)經(jīng)常都被視為“未達(dá)到”狀態(tài)，但黃色可以表示處于“達(dá)到”和“未達(dá)到”之間的某種中間狀態(tài)。?

現(xiàn)在參照?qǐng)D1，示出了通常用于等離子體處理系統(tǒng)的燈塔(lighttower)的簡化圖。通常可以通過處理模型(通常，是軟件中的“或”和/或硬件報(bào)警閾值)來確定燈塔的狀態(tài)。燈塔本身可以包括三個(gè)離散的顏色顯示，因此可以顯示三種狀態(tài)。紅色狀態(tài)102通常表示“未達(dá)到”機(jī)器準(zhǔn)備就緒狀態(tài)，例如當(dāng)?shù)入x子體處理超出范圍時(shí)。在一些配置中，“未達(dá)到”機(jī)器準(zhǔn)備就緒狀態(tài)會(huì)使紅色顯示閃爍。黃色狀態(tài)104通常傳達(dá)等離子體處理會(huì)立即進(jìn)入“未達(dá)到”機(jī)器準(zhǔn)備就緒狀態(tài)的警告。綠色狀態(tài)106通常是指“達(dá)到”狀態(tài)。一般地，除非需要本質(zhì)上的故障查找，不然操作者僅需適當(dāng)?shù)鼐哂刑幚砟Ｐ偷闹R(shí)。?

然而，機(jī)器準(zhǔn)備就緒狀態(tài)有時(shí)候是任意的并且通常從等離子體處理系統(tǒng)所有者尤其感興趣的處理參數(shù)的子集中確定。一般，只有當(dāng)絕對(duì)必要時(shí)才會(huì)停止制造處理，這是因?yàn)閱蝹€(gè)處理的襯底需要花費(fèi)大量的金錢。然而，通常難以實(shí)現(xiàn)大于有根據(jù)的推測(cè)總量粒度的機(jī)器處理狀態(tài)的足夠粒度。?

例如，可以通過在沒有襯底時(shí)轟擊等離子體將污染物從等離子體處理系統(tǒng)中清除。然而，由于靜電卡盤(卡盤)不再被襯底所遮擋，因此其隨后被蝕刻。結(jié)果，等離子體處理系統(tǒng)不能夠充分補(bǔ)償，使得處理配方的參數(shù)無效。由于通常不能實(shí)際確定該點(diǎn)的確切到達(dá)時(shí)間，所以作為替代，用戶可以確定達(dá)到“未達(dá)到”狀態(tài)，從而在?特定量的操作時(shí)間(實(shí)際上這通常只是其使用壽命的一部分)之后替換卡盤。由于昂貴的卡盤可能不必替換，所以這會(huì)增加生產(chǎn)成本，以及由于等離子體處理系統(tǒng)必須脫機(jī)幾個(gè)小時(shí)以替換卡盤，所以會(huì)減少產(chǎn)量。?

此外，機(jī)器準(zhǔn)備就緒可不必與“達(dá)到”或“未達(dá)到”狀態(tài)相關(guān)，而是與預(yù)期故障狀態(tài)的連續(xù)區(qū)相關(guān)。預(yù)期故障狀態(tài)是與其沖擊、損壞、或標(biāo)準(zhǔn)化權(quán)重的一些數(shù)值表示相乘的特定故障狀態(tài)的可能性。如果故障的可能性很大，但處理中其操作的沖擊是可忽略的，則其預(yù)期值很小。在這種情況下，制造處理可能將繼續(xù)進(jìn)行。同樣，如果故障可能性很小，但處理中其操作的沖擊很高，則可能再次出現(xiàn)較低的預(yù)期值使處理繼續(xù)進(jìn)行。相反，較高的預(yù)期故障狀態(tài)可能使機(jī)器立即停止工作。例如，等離子體室中的真空泄漏。?

然而，預(yù)期故障狀態(tài)的連續(xù)區(qū)難以以容易理解的圖形用戶顯示有效呈現(xiàn)給操作者。盡管受到限制，但離散視覺通知(即，“達(dá)到”或“未達(dá)到”)的優(yōu)點(diǎn)在于使操作者快速并容易地做出反應(yīng)，例如停止等離子體處理系統(tǒng)。相反，連續(xù)視覺通知還經(jīng)常要求操作者進(jìn)行復(fù)雜思考，例如，建立對(duì)等離子體處理中事件的當(dāng)前狀態(tài)和未來狀態(tài)、以及可能行為效果的看法。?

只有數(shù)據(jù)遵循簡單模式，大部分?jǐn)?shù)據(jù)分析模型(如回歸模型、要素分析、方差分析等)才容易被操作者理解。但是，經(jīng)常難以從等離子體處理系統(tǒng)中提取原始操作數(shù)據(jù)，基于預(yù)先定義的算法組來處理信息，以及隨后以容易理解的圖形顯示來顯示處理后的信息。此外，需要操作者足夠理解過程和任務(wù)，以便能夠從不完整的圖形顯示中推導(dǎo)出復(fù)雜多維處理當(dāng)前的內(nèi)部狀態(tài)并預(yù)測(cè)其行為，從而預(yù)測(cè)可能的故障狀態(tài)。?

考慮到上述情況，期望一種用于等離子體處理系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)執(zhí)行的數(shù)據(jù)表示技術(shù)。?