[發(fā)明專利]用于等離子體處理系統(tǒng)的計算機執(zhí)行的數(shù)據(jù)表示技術(shù)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200580039694.9 | 申請日： | 2005-09-23 |
| 公開（公告）號： | CN101061465A | 公開（公告）日： | 2007-10-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 安德魯三世·D·貝利;普尼特·亞達夫 | 申請（專利權(quán)）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分類號： | G06F11/30 | 分類號： | G06F11/30;G21C17/00;G06F15/00 |
| 代理公司： | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 | 代理人： | 余剛;尚志峰 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 等離子體 處理 系統(tǒng) 計算機 執(zhí)行 數(shù)據(jù) 表示 技術(shù) | ||
1.一種用于表示屬于等離子體處理系統(tǒng)的系統(tǒng)相關(guān)結(jié)構(gòu)的一組預(yù)期故障狀態(tài)的計算機執(zhí)行的方法，包括：
接收屬于所述系統(tǒng)相關(guān)結(jié)構(gòu)的第一系統(tǒng)相關(guān)結(jié)構(gòu)的一組標記；
根據(jù)第一子方法并響應(yīng)于所述接收所述一組標記，計算第一預(yù)期故障狀態(tài)值；
根據(jù)第一權(quán)重計算第一標準化預(yù)期故障狀態(tài)值；
使所述第一標準化預(yù)期故障狀態(tài)值與第一顏色相關(guān)；
在n維矩陣的單元中顯示所述第一顏色，其中，n是大于1的整數(shù)；
其中，所述n維矩陣包括x的列數(shù)、y的行數(shù)和z的平面數(shù)，其中，x是大于0的整數(shù)，y是大于0的整數(shù)，以及z是大于0的整數(shù)，以及其中，所述n維矩陣包括與第二標準化預(yù)期故障狀態(tài)值相關(guān)的第二顏色、與第三標準化預(yù)期故障狀態(tài)值相關(guān)的第三顏色、以及與第四標準化預(yù)期故障狀態(tài)值相關(guān)的第四顏色，其中，從所述第一標準化預(yù)期故障狀態(tài)值、所述第二標準化預(yù)期故障狀態(tài)值、以及所述第三標準化預(yù)期故障狀態(tài)值中得出所述第四標準化預(yù)期故障狀態(tài)值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，基于包括色調(diào)值、亮度值、和飽和度值中的至少一個的連續(xù)區(qū)來計算所述第一顏色。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述系統(tǒng)相關(guān)結(jié)構(gòu)的所述第一系統(tǒng)相關(guān)結(jié)構(gòu)屬于所述等離子體處理系統(tǒng)的第一子部件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述第一子部件是靜電卡盤。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述第一子部件是匹配網(wǎng)絡(luò)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述第一子部件是氣體分配系統(tǒng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述第一子部件是RF發(fā)生器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述一組標記包括所述等離子體處理系統(tǒng)的子部件的測量值。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述測量值是阻抗測量值。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述測量值是溫度測量值。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述測量值是電壓測量值。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述測量值是壓力測量值。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述一組標記包括所述等離子體處理系統(tǒng)的操作成本。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述一組標記至少包括第二標準化預(yù)期故障狀態(tài)值和所述等離子體處理系統(tǒng)的子部件的測量值。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述一組標記至少包括第二標準化預(yù)期故障狀態(tài)值和第三標準化預(yù)期故障狀態(tài)值。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述n維矩陣的每一列均表示時間點。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述n維矩陣的每一列均表示周期計算時間。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述n維矩陣的每一列均表示預(yù)定事件。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述預(yù)定事件是開始事件、停止事件、局部最大事件、和局部最小事件中的一個。
20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的計算機執(zhí)行的方法，其中，所述行數(shù)y＝4，在第一行上顯示所述第一顏色，在第二行上顯示所述第二顏色，在第三行上顯示所述第三顏色，以及在第四行上顯示所述第四顏色。
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