[發(fā)明專利]用于測量集中光束的方法和裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200580037317.1 | 申請日： | 2005-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN101048647A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發(fā)明（設計）人： | 蒂莫西·N·托馬斯;布魯斯·亞當斯;迪安·C·詹寧斯 | 申請（專利權）人： | 應用材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G01J1/42 | 分類號： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產權代理有限公司 | 代理人： | 徐金國;梁揮 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 測量 集中 光束 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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