[發明專利]用于測量集中光束的方法和裝置無效
| 申請號： | 200580037317.1 | 申請日： | 2005-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN101048647A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發明（設計）人： | 蒂莫西·N·托馬斯;布魯斯·亞當斯;迪安·C·詹寧斯 | 申請（專利權）人： | 應用材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G01J1/42 | 分類號： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 | 代理人： | 徐金國;梁揮 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 測量 集中 光束 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于應用材料股份有限公司，未經應用材料股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200580037317.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
