[發明專利]具有控制應力的氮化硅膜無效
| 申請號： | 200580024991.6 | 申請日： | 2005-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN1989622A | 公開（公告）日： | 2007-06-27 |
| 發明（設計）人： | 瑟亞納拉亞南·R·伊耶;安德魯·M·拉姆;前田佑二;湯姆斯·梅內;雅各布·W·史密斯;肖恩·M·索特;桑吉烏·坦登;蘭德希爾·P·辛格·撒庫;森德拉奇·西魯帕普里尤 | 申請（專利權）人： | 應用材料股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/10 | 分類號： | H01L29/10;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 | 代理人： | 徐金國;梁揮 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 控制 應力 氮化 | ||
【權利要求書】：
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