[發明專利]包括響應DC偏壓控制的真空等離子體處理器有效
| 申請號： | 200580016987.5 | 申請日： | 2005-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN1957437A | 公開（公告）日： | 2007-05-02 |
| 發明（設計）人： | R·季米薩;F·科扎克維奇;D·特拉塞爾 | 申請（專利權）人： | 拉姆研究有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 陳斌 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 包括 響應 dc 偏壓 控制 真空 等離子體 處理器 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于拉姆研究有限公司，未經拉姆研究有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200580016987.5/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
