[發(fā)明專利]包括響應(yīng)DC偏壓控制的真空等離子體處理器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200580016987.5 | 申請日： | 2005-05-25 |
| 公開（公告）號： | CN1957437A | 公開（公告）日： | 2007-05-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | R·季米薩;F·科扎克維奇;D·特拉塞爾 | 申請（專利權(quán)）人： | 拉姆研究有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 陳斌 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 包括 響應(yīng) dc 偏壓 控制 真空 等離子體 處理器 | ||
【權(quán)利要求書】：
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