[發明專利]基片支承系統和方法

無效

• 申請號: 200580015282.1
• 申請日: 2005-05-25
• 公開（公告）號: CN101426957A
• 公開（公告）日: 2009-05-06
• 發明（設計）人: P·K·尼曼卡雅拉;S·V·斯里尼瓦桑
• 申請（專利權）人: 得克薩斯州大學系統董事會
• 主分類號: C23F1/00
• 分類號: C23F1/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 沙永生

1.一種基片支承系統，該系統包括：

卡盤體，該卡盤體具有體表面，從該體表面中延伸出銷，所述的銷具有位 于一平面內的接觸面，所述銷與所述卡盤體可移動地連接，以相對于所述平面 移動。

2.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述銷與所述卡盤體相連接， 使得所述銷當受到不均勻地分布于其上的負荷作用的時候，移動離開所述平 面。

3.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述銷與所述卡盤體連接，以 繞遠處的柔順性中心旋轉。

4.如權利要求1所述的系統，其特征在于，所述銷與所述卡盤體連接，以 圍繞遠處的柔順性中心旋轉，所述柔順性中心與所述銷上所受負荷大于其余區 域上負荷的區域隔離開。

5.一種基片支承系統，該系統包括：具有從中延伸出“T”形銷的表面的 卡盤體。

6.如權利要求5所述的系統，其特征在于，所述“T”形銷與所述表面連接， 以相對于所述表面發生移動。

7.如權利要求5所述的系統，其特征在于，所述“T”形銷與所述卡盤體連 接，從而在所述“T”形銷上受到不均勻分布的負荷的時候，移動離開預定的 位置。

8.一種支承基片的方法，所述方法包括：

將所述基片置于兩個相隔離的主體上；

使所述兩個相隔離的主體中的一個移動離開所述基片。

9.如權利要求8所述的方法，其特征在于，移動還包括使所述兩個互相隔 離的主體均互相獨立地移動離開所述基片。

10.如權利要求8所述的方法，其特征在于，所述兩個相隔離的主體包括在 常規的銷單元中，移動還包括在所述銷單元上受到不均勻分布的負荷作用的時 候，使所述兩個相隔離的主體都移動離開所述基片。