[發(fā)明專利]一種考夫曼離子源中的中和陰極燈絲及其方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510090637.5 | 申請日： | 2005-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN1917131A | 公開（公告）日： | 2007-02-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張興旺;陳諾夫 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 |
| 主分類號： | H01J27/02 | 分類號： | H01J27/02;H01J37/08 |
| 代理公司： | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 考夫曼 離子源 中的 中和 陰極 燈絲 及其 方法 | ||
【說明書】：
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