[發明專利]一種考夫曼離子源中的中和陰極燈絲及其方法無效
| 申請號： | 200510090637.5 | 申請日： | 2005-08-18 |
| 公開（公告）號： | CN1917131A | 公開（公告）日： | 2007-02-21 |
| 發明（設計）人： | 張興旺;陳諾夫 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | H01J27/02 | 分類號： | H01J27/02;H01J37/08 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 考夫曼 離子源 中的 中和 陰極 燈絲 及其 方法 | ||
【權利要求書】：
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