[發明專利]半導體制造裝置的保養時期判斷方法有效
| 申請號： | 200510084697.6 | 申請日： | 2000-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN1854715A | 公開（公告）日： | 2006-11-01 |
| 發明（設計）人： | 長谷川博之;山岡智則;石原良夫;增崎宏;佐藤貴之;鈴木克昌;德永裕樹 | 申請（專利權）人： | 株式會社上睦可;大陽日酸株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/39 | 分類號： | G01N21/39;C23C16/00;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 梁永 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 制造 裝置 保養 時期 判斷 方法 | ||
【說明書】：
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