[發(fā)明專利]含有含氟化合物的氣體的處理方法及設(shè)備無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510080106.8 | 申請(qǐng)日： | 2005-06-29 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN1887410A | 公開(kāi)（公告）日： | 2007-01-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李秋煌;黃建良;盧敏彥;張美元 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院;成泰科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B01D53/68 | 分類號(hào)： | B01D53/68;B01D53/86 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 李柏 |
| 地址： | 臺(tái)灣省新竹縣*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 含有 氟化 氣體 處理 方法 設(shè)備 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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