[發(fā)明專利]含有含氟化合物的氣體的處理方法及設(shè)備無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510080106.8 | 申請日： | 2005-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN1887410A | 公開（公告）日： | 2007-01-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李秋煌;黃建良;盧敏彥;張美元 | 申請（專利權(quán)）人： | 財團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院;成泰科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/68 | 分類號： | B01D53/68;B01D53/86 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 李柏 |
| 地址： | 臺灣省新竹縣*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 含有 氟化 氣體 處理 方法 設(shè)備 | ||
【權(quán)利要求書】：
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