[發明專利]制造反射式隱藏鏡面及其它微機電元件的間隙壁的方法有效
| 申請號： | 200510077540.0 | 申請日： | 2005-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN1721319A | 公開（公告）日： | 2006-01-18 |
| 發明（設計）人： | 吳善華;陳斐筠;王薇雅;劉鴻興;潘升良 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B81B5/00 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 臺灣省新竹科學*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制造 反射 隱藏 其它 微機 元件 間隙 方法 | ||
【說明書】：
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