[發(fā)明專利]制造反射式隱藏鏡面及其它微機(jī)電元件的間隙壁的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200510077540.0 | 申請日： | 2005-06-17 |
| 公開（公告）號： | CN1721319A | 公開（公告）日： | 2006-01-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳善華;陳斐筠;王薇雅;劉鴻興;潘升良 | 申請（專利權(quán)）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B81B5/00 |
| 代理公司： | 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 壽寧;張華輝 |
| 地址： | 臺灣省新竹科學(xué)*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制造 反射 隱藏 其它 微機(jī) 元件 間隙 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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