[發明專利]離子束系統以及在該系統中減少襯底的外來物質污染的方法有效
| 申請號： | 200510077123.6 | 申請日： | 2005-06-14 |
| 公開（公告）號： | CN1713334A | 公開（公告）日： | 2005-12-28 |
| 發明（設計）人： | 塔沙·德賽;埃利斯·C·海福德;小尼古拉斯·莫尼 | 申請（專利權）人： | 國際商業機器公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 美國紐*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子束 系統 以及 減少 襯底 外來 物質 污染 方法 | ||
【說明書】：
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