[發(fā)明專利]離子束系統(tǒng)以及在該系統(tǒng)中減少襯底的外來物質(zhì)污染的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510077123.6 | 申請(qǐng)日： | 2005-06-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1713334A | 公開（公告）日： | 2005-12-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 塔沙·德賽;埃利斯·C·海福德;小尼古拉斯·莫尼 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 國際商業(yè)機(jī)器公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/317 | 分類號(hào)： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 美國紐*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 離子束 系統(tǒng) 以及 減少 襯底 外來 物質(zhì) 污染 方法 | ||
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