[發明專利]用稀釋的NF3清潔低溫CVD室無效
| 申請號： | 200510076201.0 | 申請日： | 2005-05-12 |
| 公開（公告）號： | CN1727082A | 公開（公告）日： | 2006-02-01 |
| 發明（設計）人： | R·G·里德格韋;齊賓;P·J·馬勞里斯 | 申請（專利權）人： | 氣體產品與化學公司 |
| 主分類號： | B08B7/00 | 分類號： | B08B7/00;C23C16/513;C23C16/24 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范赤;龐立志 |
| 地址： | 美國賓夕*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 稀釋 nf sub 清潔 低溫 cvd | ||
【說明書】：
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