[發(fā)明專利]用稀釋的NF3清潔低溫CVD室無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510076201.0 | 申請(qǐng)日： | 2005-05-12 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1727082A | 公開（公告）日： | 2006-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | R·G·里德格韋;齊賓;P·J·馬勞里斯 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B7/00 | 分類號(hào)： | B08B7/00;C23C16/513;C23C16/24 |
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范赤;龐立志 |
| 地址： | 美國(guó)賓夕*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 稀釋 nf sub 清潔 低溫 cvd | ||
【權(quán)利要求書】：
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- 一種用戶設(shè)備數(shù)據(jù)通信方法及設(shè)備
- 網(wǎng)絡(luò)功能服務(wù)的發(fā)現(xiàn)方法及設(shè)備
- 一種通信方法、網(wǎng)絡(luò)功能實(shí)體、網(wǎng)絡(luò)功能倉(cāng)儲(chǔ)及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種用于含硫酸鈉和氯化鈉的高鹽廢水雙向濃縮分離裝置
- 一種網(wǎng)絡(luò)功能NF管理方法及NF管理設(shè)備
- 一種NF組件異常的處理方法、設(shè)備及系統(tǒng)
- 一種通信方法及裝置
- 用于發(fā)現(xiàn)用作網(wǎng)絡(luò)功能服務(wù)消費(fèi)方的網(wǎng)絡(luò)功能的方法和裝置
- 一種5G核心網(wǎng)中NF切換方法、裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種網(wǎng)絡(luò)功能NF管理方法及NF管理設(shè)備
- 一種Nd<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-Yb<sub>2</sub>O<sub>3</sub>改性的La<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-(Zr<sub>0.92</sub>Y<sub>0.08</sub>)O<sub>1.96</sub>復(fù)相熱障涂層材料
- 無(wú)鉛[(Na<sub>0.57</sub>K<sub>0.43</sub>)<sub>0.94</sub>Li<sub>0.06</sub>][(Nb<sub>0.94</sub>Sb<sub>0.06</sub>)<sub>0.95</sub>Ta<sub>0.05</sub>]O<sub>3</sub>納米管及其制備方法
- 磁性材料HN(C<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>3</sub>·[Co<sub>4</sub>Na<sub>3</sub>(heb)<sub>6</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>6</sub>]及合成方法
- 磁性材料[Co<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(hmb)<sub>4</sub>(N<sub>3</sub>)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub>]·(CH<sub>3</sub>CN)<sub>2</sub> 及合成方法
- 一種Bi<sub>0.90</sub>Er<sub>0.10</sub>Fe<sub>0.96</sub>Co<sub>0.02</sub>Mn<sub>0.02</sub>O<sub>3</sub>/Mn<sub>1-x</sub>Co<sub>x</sub>Fe<sub>2</sub>O<sub>4</sub> 復(fù)合膜及其制備方法
- Bi<sub>2</sub>O<sub>3</sub>-TeO<sub>2</sub>-SiO<sub>2</sub>-WO<sub>3</sub>系玻璃
- 熒光材料[Cu<sub>2</sub>Na<sub>2</sub>(mtyp)<sub>2</sub>(CH<sub>3</sub>COO)<sub>2</sub>(H<sub>2</sub>O)<sub>3</sub>]<sub>n</sub>及合成方法
- 一種(Y<sub>1</sub>-<sub>x</sub>Ln<sub>x</sub>)<sub>2</sub>(MoO<sub>4</sub>)<sub>3</sub>薄膜的直接制備方法
- 熒光材料(CH<sub>2</sub>NH<sub>3</sub>)<sub>2</sub>ZnI<sub>4</sub>
- Li<sub>1.2</sub>Ni<sub>0.13</sub>Co<sub>0.13</sub>Mn<sub>0.54</sub>O<sub>2</sub>/Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>復(fù)合材料的制備方法
