[發(fā)明專(zhuān)利]表面檢測(cè)裝置和表面檢測(cè)方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200510069673.3 | 申請(qǐng)日: | 2005-05-10 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN1696672A | 公開(kāi)(公告)日: | 2005-11-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 安藤護(hù)俊;酒井覺(jué) | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 富士通株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G01N21/88 | 分類(lèi)號(hào): | G01N21/88;G01N21/55;G01N21/84;G01B11/30;G01B5/28;G06T7/00 |
| 代理公司: | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人: | 王萍 |
| 地址: | 日本*** | 國(guó)省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 表面 檢測(cè) 裝置 方法 | ||
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
G01N 借助于測(cè)定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段,即利用紅外光、可見(jiàn)光或紫外光來(lái)測(cè)試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測(cè)試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測(cè)試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測(cè)試的材料在其中被激發(fā),因之引起材料發(fā)光或入射光的波長(zhǎng)發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng),測(cè)試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專(zhuān)用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法和檢測(cè)組件
- 檢測(cè)方法、檢測(cè)裝置和檢測(cè)系統(tǒng)
- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)方法以及記錄介質(zhì)
- 檢測(cè)設(shè)備、檢測(cè)系統(tǒng)和檢測(cè)方法
- 檢測(cè)芯片、檢測(cè)設(shè)備、檢測(cè)系統(tǒng)和檢測(cè)方法
- 檢測(cè)裝置、檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法
- 檢測(cè)芯片、檢測(cè)設(shè)備、檢測(cè)系統(tǒng)
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