[發(fā)明專(zhuān)利]表面檢測(cè)裝置和表面檢測(cè)方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200510069673.3
• 申請(qǐng)日: 2005-05-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN1696672A
• 公開(kāi)（公告）日: 2005-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安藤護(hù)俊;酒井覺(jué)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 富士通株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/88
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/88;G01N21/55;G01N21/84;G01B11/30;G01B5/28;G06T7/00
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 王萍