[發明專利]表面檢測裝置和表面檢測方法無效
| 申請號： | 200510069673.3 | 申請日： | 2005-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN1696672A | 公開（公告）日： | 2005-11-16 |
| 發明（設計）人： | 安藤護俊;酒井覺 | 申請（專利權）人： | 富士通株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88;G01N21/55;G01N21/84;G01B11/30;G01B5/28;G06T7/00 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 王萍 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面 檢測 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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